Occasion KLA / TENCOR / PROMETRIX 6200 Surfscan #9078060 à vendre en France
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KLA/TENCOR/PROMETRIX 6200 Surfscan est un équipement de test et de métrologie avancé utilisé pour analyser les dispositifs semi-conducteurs. KLA 6200 Surfscan est conçu pour mesurer une variété de paramètres sur des structures complexes à l'échelle du nanomètre telles que la finition de surface, l'épaisseur, la planéité et les concentrations de dopants. Ce système est capable d'effectuer une métrologie multidimensionnelle comme la topographie, le profil et les levés inclinés. TENCOR 6200 Surfscan est équipé d'un scanner XY entièrement automatisé et haute résolution. Cela permet des mesures précises et précises même en présence de distorsions provenant de structures telles que des cubes d'angle et des structures d'essai avec des caractéristiques topographiques extrêmes. La largeur et la vitesse du balayage sont réglables pour permettre toute tâche de mesure depuis les mesures en plein champ jusqu'au balayage localisé. L'échantillon peut être placé directement sur l'étage du scanner pour des réglages simples ou monté sur un mandrin pour des mesures plus complexes. L'unité peut accueillir des substrats jusqu'à 200mm. Cette machine est également équipée d'un étage incliné et rotatif à 2 axes pour mesurer précisément les angles et les valeurs d'inclinaison dans la gamme des nanomètres tout en ajustant l'orientation de l'échantillon. Un capteur d'image CCD avec une résolution définie par l'utilisateur permet l'imagerie de contraste élevé des structures sur la surface de la plaquette, qui peut être utilisé pour déterminer les seuils d'activation, la géométrie, et d'autres paramètres. 6200 Surfscan offre également des capacités analytiques avancées. Grâce à ses mesures d'imagerie et de métrologie à haute résolution, l'outil peut être utilisé pour détecter les déplacements de processus, mesurer la répétabilité, identifier les défauts et analyser le rendement unifié. PROMETRIX 6200 Surfscan est basé sur Windows et peut être intégré dans des environnements de production, de test et de logiciel pour augmenter le débit et la fiabilité. KLA/TENCOR/PROMETRIX 6200 L'actif de test et de métrologie des plaquettes Surfscan fournit des mesures automatisées de haute qualité pour des environnements de production avancés. Il dispose d'une haute précision de balayage et d'imagerie, ainsi que de capacités analytiques avancées, pour des mesures précises et un meilleur contrôle des rendements. La flexibilité et la précision de ce modèle permettent une rétroaction rapide et précise sur les paramètres de processus et par l'automatisation des tâches traditionnellement manuelles.
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