Occasion KLA / TENCOR / PROMETRIX 6200 Surfscan #9078061 à vendre en France

KLA/TENCOR/PROMETRIX 6200 L'équipement de Surfscan est un système de test et de métrologie de plaquettes, optimisé pour une large gamme d'applications de contrôle de dispositifs et de processus. Il combine diverses technologies, telles que la scatterométrie optique, l'ellipsométrie, la planarisation mécanique chimique (CMP) et l'évaluation des performances en métrologie, pour obtenir une caractérisation supérieure de la surface des plaquettes ainsi qu'une large gamme de mesures liées au processus et au rendement. KLA 6200 Surfscan utilise une unité de scatterométrie optique avancée à haute résolution pour détecter et caractériser la topographie de surface des sous-microns. Cette machine est capable de mesurer des caractéristiques avec des résolutions aussi faibles que 0,3 micron, fournissant des résultats précis et reproductibles. En outre, TENCOR 6200 Surfscan dispose d'une plate-forme dynamique pour une variété de configurations et de techniques d'ellipsométrie, ainsi que des approches avancées de modulation de phase optimisées pour mesurer avec précision les géométries compliquées des plaquettes. L'outil dispose également d'une variété de capacités de métrologie puissantes, telles que la reconstruction de topographie tridimensionnelle (ET), pour obtenir des informations sur la forme globale de la plaquette. Il dispose également d'une interface utilisateur intuitive qui permet des configurations précises de configuration de test, y compris des mesures répétées (In-Line) et complètes (Batch). 6200 Surfscan offre également une gamme complète de mesures CMP, telles que l'analyse de morphologie de surface statique (SSMA), la cartographie des rayures, la détection des macroparticules et les mesures d'adhérence. Ces mesures permettent à l'actif de détecter les points faibles et les défauts, ainsi que de quantifier la croissance des broches pour améliorer le contrôle des processus. De plus, le modèle peut être utilisé pour des inspections des défauts après le processus et des tests de performance, tels que des tensions de sondes et des courants, afin d'assurer un bon fonctionnement du dispositif. Equipé de ces fonctionnalités puissantes, PROMETRIX 6200 Surfscan est un outil idéal pour les laboratoires de recherche et de production, offrant des tests et une métrologie rapides, fiables et perspicaces. Il permet aux utilisateurs de détecter de minuscules caractéristiques de surface qui ne peuvent pas être détectées par d'autres techniques, leur permettant de surveiller efficacement les processus des plaquettes et d'améliorer le rendement global et l'efficacité de fabrication.