Occasion KLA / TENCOR / PROMETRIX 6200 Surfscan #9159142 à vendre en France

KLA/TENCOR/PROMETRIX 6200 Surfscan est un équipement d'essai et de métrologie de plaquettes conçu pour mesurer et analyser des caractéristiques de surface telles que des protubérances microscopiques (ou des étapes) et des fosses dans un dispositif testé (DUT). Ce système comporte un taux d'échantillonnage pouvant atteindre 10 kHz, une taille de tache de faisceau de 10 µm et une résolution pouvant atteindre 1 µm. L'unité est composée de trois composants principaux : le Scan Head qui abrite l'optique, l'électronique et la mécanique ; le moteur de mesure ; et l'interface utilisateur de l'analyse. Le Scan Head est responsable de la collecte et de la génération des données de métrologie, et est équipé d'une diode laser pour scanner la plaquette DUT. La lumière du laser est focalisée puis réfléchie vers la tête de balayage, créant une image de la topographie de surface du DUT. Cette image est ensuite traitée par le moteur de mesure qui acquiert les données de l'image et effectue des algorithmes de filtrage et d'optimisation. Les données sont ensuite téléchargées vers l'interface utilisateur de l'analyse, qui permet de visualiser les profils d'analyse et les données traitées. Des paramètres tels que la hauteur des marches, la taille des fosses, la rugosité de la surface et les caractéristiques sous-représentées peuvent être extraits des profils d'analyse. En outre, la machine est équipée de la technologie « SmartScan », qui repose sur l'intégration d'algorithmes d'analyse de surface et d'optimisation par code. Cette technologie améliore la capacité de l'outil à optimiser le rendement et à réduire le besoin de mesures paramétriques coûteuses. Une interface utilisateur graphique (interface graphique) est également prévue pour aider à l'exploitation de l'actif, ainsi que pour la visualisation et l'analyse des données. En conclusion, KLA 6200 Surfscan est un modèle fiable et efficace de test de plaquettes et de métrologie qui fournit des résultats de haute précision de manière rapide. Ses caractéristiques telles que la technologie « SmartScan », l'interface graphique et le taux de numérisation en font un outil précieux pour déterminer les caractéristiques microscopiques et les défauts des substrats.