Occasion KLA / TENCOR / PROMETRIX 6200 Surfscan #9249954 à vendre en France

KLA / TENCOR / PROMETRIX 6200 Surfscan
ID: 9249954
Wafer particle inspection system.
KLA/TENCOR/PROMETRIX 6200 Surfscan est un équipement d'essai et de métrologie de plaquettes qui fournit une imagerie haute résolution et une mesure automatisée des propriétés physiques et géométriques des plaquettes semi-conductrices. Le système utilise une technologie optique et d'imagerie de pointe pour obtenir des images topographiques mesurées avec précision des surfaces des plaquettes. Il est capable de mesurer les caractéristiques nano-échelle et micro-échelle, et ses capacités de mesure étendues sont utilisées pendant la fabrication des plaquettes pour aider à cerner les problèmes de processus et de surface qui affectent le rendement. KLA 6200 Surfscan dispose d'un chargement et d'un déchargement automatisés d'échantillons, d'une correction à plusieurs étages pour une meilleure clarté d'image et d'une interface utilisateur graphique facile à utiliser. Il fournit également une imagerie à large champ sur une grande surface, des mesures quantifiables, l'uniformité de l'appareil à l'appareil et la traçabilité des données. TENCOR 6200 Surfscan est conçu pour fonctionner avec des appareils aussi petits que des nanostructures de pas de 100nm et dispose d'un moteur de mesure optique optimisé qui peut mesurer jusqu'à 1000 microns de champs. Son imagerie de surface dynamique et ses mesures fournissent des résultats très précis qui peuvent être utilisés par les chercheurs et les ingénieurs pour prédire les performances des plaquettes et déterminer les problèmes de processus. La machine dispose également d'une table de travail de métrologie pour permettre des mesures rapides, répétables et statistiquement significatives. Ce plateau de travail en métrologie comprend une gamme de fonctions de mesure sélectionnables par l'utilisateur telles que la mesure de dimension critique (CD), la rugosité des bords de ligne (LER), la rugosité des bords locaux (LER), l'éclairage à 360 degrés pour les balayages des bords et les mesures de profil. PROMETRIX 6200 L'outil Surfscan dispose également d'une inspection automatisée, permettant d'identifier rapidement les problèmes de processus et les incohérences. L'inspection automatisée applique une gamme d'algorithmes pour détecter les défauts de surface, tels que les micropores, les bulles et les stries. Il offre également une suite avancée de révision des défauts qui permet aux utilisateurs de visualiser les défauts in situ. 6200 Surfscan actif est une machine fiable et polyvalente, offrant une large gamme de fonctionnalités pour améliorer les tests de plaquettes et les opérations de métrologie. Sa manipulation automatisée des plaquettes, son imagerie haute résolution et ses capacités de mesure complètes permettent une meilleure surveillance des processus de fabrication des plaquettes, contribuant à améliorer le rendement et à augmenter le débit de production.
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