Occasion KLA / TENCOR / PROMETRIX 6200 Surfscan #9272264 à vendre en France

KLA/TENCOR/PROMETRIX 6200 Surfscan est un équipement d'essai et de métrologie de wafer de pointe pour la recherche et l'environnement de production. Il permet la mesure rapide et précise des propriétés électriques telles que la résistivité, la permittivité, la capacité et les paramètres de fuite des matériaux semi-conducteurs. Ce système a été conçu pour supporter une grande variété de nœuds de processus et les dernières technologies, y compris la fonderie, fab et les bibliothèques d'ingénierie. KLA 6200 Surfscan dispose d'un puissant capteur d'imagerie CCD de 5 mégapixels de haute précision qui peut capturer des images des caractéristiques des plaquettes avec une résolution de 5 micromètres grâce à ses algorithmes de traitement d'image haute résolution. La vue grand format de 9,1 pouces a été conçue pour soutenir des débits de recherche et de production élevés. L'unité détecte non seulement les défauts et les variations induites par le processus dans les propriétés des plaquettes, mais aide également à identifier les pertes de rendement aléatoires et systématiques potentielles du produit. TENCOR 6200 Surfscan est équipé de capacités avancées de caractérisation des processus et de traitement des données, y compris une base de données intégrée de recettes de processus et de mesures stockées. La suite de métrologie avancée de la machine comprend également une plate-forme de mesure 3D avec une large gamme d'outils de caractérisation de processus tels que la scattérométrie, la rugosité de surface et l'épaisseur du film, ainsi que des techniques plus avancées comme l'analyse des contraintes, la longévité et le profil. PROMETRIX 6200 Surfscan supporte différentes tailles de plaquettes de 4 « à 12 », selon la configuration exacte. Les fonctionnalités en option comprennent la manipulation automatisée des plaquettes, l'optimisation du débit et un outil d'inspection optique automatisé pour détecter les petits défauts. L'atout est également fourni avec une interface utilisateur intuitive et un logiciel de rapport complet pour surveiller les métriques de processus et obtenir des données sur les défauts, les variations et les variations entre les lots. 6200 Surfscan est une solution rentable pour l'essai de plaquettes de haute précision et la métrologie dans les environnements de recherche et de production. Avec ses fonctions de métrologie avancées et sa conception intuitive, KLA/TENCOR/PROMETRIX 6200 Surfscan offre une méthode efficace et précise pour tirer le meilleur parti des tests et de la métrologie des plaquettes.