Occasion KLA / TENCOR / PROMETRIX 6420 Surfscan #293623028 à vendre en France

KLA/TENCOR/PROMETRIX 6420 Surfscan est un équipement multi-capteurs conçu pour des tests et métrologie rapides et précis des plaquettes en ligne. Il offre une combinaison d'optiques, de lasers, de capteurs et de logiciels personnalisés pour fournir une analyse de surface avancée, l'identification des défauts et la métrologie dimensionnelle sur une variété de substrats. La 6420 dispose d'une configuration optique unique qui est basée sur une configuration sophistiquée de balayage triple faisceau Miller modifié. Ce motif de scan permet une imagerie rapide et haute résolution avec une focalisation variable, le tout sans compromettre les performances. De plus, le système permet de mesurer des caractéristiques très fines, ainsi que des caractéristiques de forme plus grandes et irrégulières. Le 6420 dispose également d'une unité laser-optique dans le cadre de son ensemble de métrologie. Cela comprend un profilomètre de transformée de Fourier, permettant une cartographie de surface extrêmement précise. Ceci est particulièrement utile dans les applications où la caractérisation de la topographie de surface est nécessaire. Le 6420 est équipé d'une fonction de contrôle de fonctionnement intégrée qui permet aux opérateurs de surveiller l'état des échantillons en temps réel et d'assurer la répétabilité. De plus, il existe diverses options matérielles et logicielles permettant de personnaliser les performances, la précision et les vitesses de test. Enfin, le progiciel fourni par KLA comprend une série d'outils d'analyse automatisés, tels que l'identification des défauts (pour les défauts de contamination et de structure), l'appariement des motifs, les outils de métrologie et l'imagerie par contraste de phase. Tous ces outils, ainsi que l'option de programmation personnalisée, permettent une flexibilité maximale et une facilité d'utilisation dans une variété d'applications de test de plaquettes et de métrologie. Globalement, KLA 6420 Surfscan est une machine puissante et polyvalente pour tester et mesurer rapidement, avec précision et fiabilité une variété de substrats. Avec sa combinaison d'optique avancée, de systèmes laser-optique et de logiciels puissants, il est un excellent choix pour les tests en ligne et les exigences de métrologie.