Occasion KLA / TENCOR / PROMETRIX 6420 Surfscan #9057232 à vendre en France

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ID: 9057232
Non-patterned wafer particle measurement system, 4"-8" Model #: 289108 Currently configured for 8" Cassette interface: (1) Open cassette SMIF Ready Operating system: Win98 Application SW verision: 4.2 Standard puck Blower unit Blower power cable Main unit power cable Particle sensitivity: 0.10 um Haze sensitivity: 0.02 PPM Count accuracy: +/- 1% No SMIF Load-port 208 V, 60 Hz, Single phase, 17 A 1997 vintage.
KLA/TENCOR/PROMETRIX 6420 Surfscan est un équipement de test et de métrologie de plaquettes de pointe qui est conçu pour effectuer des tests et analyses de pointe sur des plaquettes de silicium pendant le processus de fabrication des semi-conducteurs. Ce système offre une précision, une précision et un débit supérieurs, ce qui en fait un choix idéal pour les besoins de la métrologie des plaquettes. Il est équipé d'une plate-forme optique polyvalente et fiable et fournit des capacités avancées de cartographie automatisée des plaquettes, d'imagerie des défauts et de révision des défauts. KLA 6420 Surfscan utilise le logiciel de métrologie Windows®-based qui offre le contrôle incomparable et le pouvoir de traitement. Il permet aux utilisateurs de personnaliser les tests et les conceptions avec un traitement et un reporting des données rapides et efficaces. L'unité dispose de modes de métrologie à grande échelle, avec un réseau de balayage de grille de 32 points qui fournit une meilleure couverture d'échantillonnage sur les tapis de substrat de toute taille et épaisseur. Il comprend une plate-forme brevetée SmoothScan™, avec une réduction optique avancée et un contrôle de vitesse adaptatif, qui réduit la rotation des échantillons non uniforme, ce qui donne des mesures plus précises. TENCOR 6420 Surfscan est également équipé de filtres spéciaux de protection contre les poussières qui éliminent les particules de poussière et réduisent la contrainte mécanique sur les plaquettes. Il est capable d'obtenir des mesures métrologiques rapides et précises, y compris l'épaisseur de la plaquette, l'épaisseur de la zone, la surface totale, l'espace de montage des arêtes et la cartographie de la matrice à la matrice. Il dispose également d'une puissante capacité automatisée de reconnaissance et d'analyse des défauts, de sorte que les inspections des plaquettes peuvent être effectuées rapidement et efficacement. 6420 Surfscan est une machine haute performance et très précise qui dispose de plusieurs modes d'imagerie, y compris le champ lumineux et l'imagerie en champ sombre. Il est également équipé d'un outil intégré d'analyse d'image (IAS), qui fournit des tests et analyses automatisés pendant le processus de fabrication des plaquettes. Le logiciel IAS permet une résolution rapide des problèmes et réduit le temps de test et d'analyse. L'actif est entièrement intégré aux autres systèmes de métrologie, ce qui facilite le transfert et le partage des données. PROMETRIX 6420 Surfscan est un modèle avancé et fiable conçu pour répondre aux exigences exigeantes des lignes de production pour la métrologie et les tests des plaquettes. Il fournit une précision, une précision, un débit et une capacité de stockage imbattables, ce qui en fait un outil essentiel pour tout processus de fabrication de semi-conducteurs.
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