Occasion KLA / TENCOR / PROMETRIX 6420 Surfscan #9209993 à vendre en France
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Vendu
ID: 9209993
Taille de la plaquette: 4"
Style Vintage: 1995
Unpatterned surface inspection system, 4"
Set up for 4" x 4" substrate
Non patterned wafer film surface analyzer
Sub micron particles:
Polysilicon
Tungsten
Epitaxial
Polished silicon
Round or rectangular subtrates: 4", 5", 6", 8"
Configured for 4 x 4 square wafers
Setup with CD rom
Automatic wafer handler
Capture rate on bare silicon: 0.1 um @95% Sensitivity
Spatial resolution: 50 um
Contamination less than 0.005 particles / cm² greater than 0.15 um
Haze sensitivity: 0.02 ppm
Defect map and histogram with zoom
2D Signal integration
Non contaminating robotic handler
X-Y Coordinates
Random access for sender / Receiver unit
SECS GEM Capable
Illumination source: 30 mW Argon-ion laser
Wavelength: 488 nm
Operating system: Microsoft Windows 98
1995 vintage.
KLA/TENCOR/PROMETRIX 6420 Surfscan est un équipement complet d'essai de plaquettes et de métrologie conçu pour fournir des données de haute qualité aux ingénieurs et techniciens qui ont besoin d'informations détaillées sur leurs produits semi-conducteurs. Cet outil est capable d'effectuer des mesures d'analyse de surface, de défaut, de recouvrement, de rugosité, d'adhérence ou de contamination sur divers types, tailles et formes de plaquettes. Il est utilisé pour vérifier la qualité de la surface et des défauts d'une plaquette, et pour analyser les performances des circuits microélectroniques et des interconnexions. KLA 6420 Surfscan comprend plusieurs systèmes de détection et une fonction d'analyse conçue pour mesurer les caractéristiques de surface du micron avec une résolution de 0,1 micron. Il a un champ de vision variable, permettant un balayage complet de la plaquette en une passe, avec des réglages réglables de grossissement jusqu'à 10x pour l'analyse microscopique. Il est capable de mesurer trois types différents de défauts, dont les particules, les trous de broche et les débris, et peut obtenir simultanément des images et des points de données. Le système automatisé de mesure et de détection peut fournir une analyse tridimensionnelle de la surface de la plaquette et une carte globale des défauts afin que l'utilisateur puisse identifier et traiter les zones problématiques. TENCOR 6420 Surfscan utilise des algorithmes avancés et utilise une unité de mesure électrostatique ultra-haute vitesse, permettant une précision et une répétabilité inégalées. En outre, il est configuré pour détecter les événements de bord, minimiser les fausses alarmes, détecter les défauts cachés, et effectuer des mesures sur divers processus de fenêtre. Il peut également détecter et mesurer les défauts des plaquettes en dehors de la zone du bord, ce qui serait normalement manqué par d'autres systèmes. L'interface conviviale de cet instrument permet également une configuration rapide et une analyse de détail. En outre, il est équipé d'une fonction d'auto-étalonnage, ce qui contribue à réduire la formation des utilisateurs, le temps et les coûts. En outre, il est conçu dans une machine en cascade de mesures anti-défaillance pour minimiser les interventions des utilisateurs et augmenter la précision des données. Au total, 6420 Surfscan est l'un des outils de test et de métrologie de plaquettes les plus précis et polyvalents disponibles aujourd'hui. Il est conçu pour offrir la détection des défauts la plus fiable et la plus précise, et sa conception conviviale le rend facile à utiliser et à entretenir. Cet outil de mesure de wafer tout-en-un est le choix parfait pour tous les besoins de test et d'analyse de produits semi-conducteurs.
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