Occasion KLA / TENCOR / PROMETRIX 6420 Surfscan #9221587 à vendre en France

KLA/TENCOR/PROMETRIX 6420 Surfscan est un équipement de test et de métrologie avancé. Le système peut être utilisé pour diverses applications de métrologie telles que l'inspection des défauts de dimension critique (CD), la nanotopographie, l'alignement des recouvrements, la métrologie des CD au niveau des plaquettes, les mesures d'uniformité, etc. L'unité utilise des technologies optiques, électriques et mécaniques de pointe pour répondre aux exigences des tâches de mesure et de surveillance de la production de haute précision. Les composants clés de la machine comprennent un outil automatisé de manutention des plaquettes, un étage de mandrin à plusieurs stations, un détecteur à grande surface, un scanner laser, un microscope électronique à balayage (SEM) et un atout d'imagerie télescopique aligné. Le modèle automatisé de manutention des plaquettes permet un transfert et un chargement efficaces des échantillons entre les différents composants de l'équipement. L'étage de mandrin multi-stations est utilisé pour faire tourner l'échantillon à des vitesses allant jusqu'à 4000 tr/min. Le détecteur à grande surface recueille des données du système, y compris des données d'image et d'autres paramètres de qualité du processus. Ce détecteur utilise une technologie unique de couplage de charge (CCD) et de photomultiplicateur pour assurer la capture et le transfert de signaux à grande vitesse. Le scanner laser 16 bits utilise des faisceaux laser pour l'analyse précise des caractéristiques de surface, des tailles de caractéristiques critiques et des défauts. Le SEM est utilisé pour générer des images de résolution de sous-microns, qui sont utilisées pour l'inspection et la mesure des défauts. Les processus d'acquisition d'images sont améliorés par l'utilisation de la chaîne d'imagerie à faible bruit. Cela permet de mesurer la taille et la forme de plus petites caractéristiques. L'unité d'imagerie télescopique alignée est utilisée pour mesurer des précisions d'alignement de superposition de sous-microns entre différentes couches de la plaquette. Cette machine combine une caméra vidéo haute résolution avec un étage de mouvement XY en boucle fermée et un logiciel d'analyse d'image puissant pour fournir les meilleures valeurs de précision de superposition. L'outil comprend également un actif de moniteur avec une variété d'options d'entrée. Il permet aux utilisateurs de visualiser des images d'échantillons en temps réel et d'autres informations liées au processus jusqu'à 1000 fois l'agrandissement. Les données sont transférées et stockées à l'aide du disque dur embarqué, qui peut être sauvegardé ou téléchargé sur n'importe quel appareil distant pour analyse ou archivage. Le modèle KLA 6420 Surfscan est un équipement de pointe pour l'essai de plaquettes et la métrologie. Il fournit des résultats fiables et précis à des vitesses élevées, étayés par une excellente expérience utilisateur. Le système dispose d'une technologie de manipulation automatisée des plaquettes, de systèmes d'imagerie de haute qualité et de logiciels puissants pour fournir des résultats précis pour la métrologie CD au niveau des plaquettes, la nanotopographie, l'alignement des superpositions et les applications de mesure de l'uniformité.