Occasion KLA / TENCOR / PROMETRIX 6420 Surfscan #9254828 à vendre en France

KLA/TENCOR/PROMETRIX 6420 L'équipement de Surfscan est un système avancé d'essai et de métrologie des plaquettes conçu pour fournir une caractérisation complète de la surface des plaquettes. Plus précisément, le 6420 offre une large gamme d'analyses de signature de puissance (PSA), de films et de mesures topographiques incluant des calibrages de hauteur, de capacité, de conductivité, de dimension critique (CD), de rugosité, d'homogénéité, de diffusion et de variations de largeur de ligne, sur une gamme complète de tailles d'échantillons et de complexité. Le 6420 est une unité intégrée conçue pour permettre les essais de surface de plaquettes les plus rapides et les plus précis. Il combine la technologie de stabilisation de la métrologie (CSM) avec le ProScan leader de l'industrie, permettant des mesures précises et rapides du profil du niveau atomique. Utilisant des algorithmes brevetés, le 6420 fournit des capacités de caractérisation de surface précises, avec des résolutions spatiales de 0,2 nm et des résolutions verticales de 1 à 2 nm. La machine est également capable de détecter automatiquement des caractéristiques clés telles que les plots, tranchées, vias et porte, ainsi que de fournir des capacités de détection de bord. Le 6420 est un outil intégré qui dispose d'une gamme de capteurs avec différents ensembles de capacités et méthodes de mesure. Il s'agit notamment de solutions pour des motifs inclinés, non uniformes et courbes, des mesures à plusieurs niveaux, ou des mesures de PSA à longueur d'onde unique et multiple. Il propose également divers modes d'étalonnage tels que l'auto-étalonnage, le trempage à l'eau, les lignes d'étalonnage et les balayages manuels. Le 6420 offre à l'industrie une répétabilité des mesures avec moins de 3nm d'incertitude de vue fractionnée. KLA 6420 Surfscan est un atout intuitif et facile à utiliser, doté d'une interface conviviale et d'outils d'analyse graphique. Il est également très configurable avec des paramètres personnalisables, permettant aux utilisateurs d'adapter le modèle à leurs besoins exacts. La 6420 dispose d'une gamme impressionnante de fonctionnalités avancées et offre une grande polyvalence pour les essais de plaquettes. C'est un équipement idéal pour toute ligne de production ou laboratoire où une caractérisation détaillée de la surface de la plaquette est nécessaire.