Occasion KLA / TENCOR / PROMETRIX 7200 Surfscan #2304 à vendre en France
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ID: 2304
Patterned wafer inspection system
Repeatability: < 3%
Mean count: 500 Particles
Diameter latex spheres: 0.5um
Resolution: 0.4um Diameter latex spheres
Substrate: SEMI Thickness standard wafer 0.3 - 0.75 mm
Substrate size: 100, 125, 150 & 200 mm
Throughput:
(22) Wafers / Hour (150 mm)
(19) Wafers / Hour (200 mm).
KLA/TENCOR/PROMETRIX 7200 Surfscan est un équipement d'essai et de métrologie des plaquettes de pointe conçu pour permettre des essais à haut débit, non destructifs et de métrologie des plaquettes semi-conductrices. Le système intègre des capacités de test et d'inspection avancées avec des algorithmes et des variables éprouvés sur le terrain, fournissant aux utilisateurs les tests de wafer les plus précis et les résultats de métrologie disponibles. La conception avancée de KLA 7200 Surfscan permet des tests de plaquettes non destructifs et la métrologie à une fraction du temps et du coût où les procédés traditionnels sont utilisés. L'unité est équipée d'une machine de microscopie optique avancée de pointe qui est utilisée pour effectuer des essais macroscopiques, ainsi que des analyses microscopiques pour la mesure des particules, la mesure de la profondeur de gravure, la cartographie topographique et la caractérisation de la largeur des lignes. TENCOR 7200 Surfscan est également livré avec une sonde de plaquette à faible force qui permet aux utilisateurs d'examiner les IC et d'autres composants peu après la fabrication. PROMETRIX 7200 Surfscan est hautement automatisé et dispose d'une multitude de fonctionnalités pour rationaliser les tests de wafer et les processus de métrologie. Ces caractéristiques comprennent un outil de manutention entièrement automatisé des plaquettes, une caméra CCD haute résolution utilisée pour les mesures automatisées des particules et un actif d'acquisition de données à grande vitesse utilisé pour l'analyse des défauts et l'inspection des sites. Le modèle offre également des caractéristiques uniques telles que la capacité d'intégrer l'inspection optique automatisée avec d'autres capacités de très haut grossissement (VHM) et d'inspection des défauts de barrière (BDI). En termes de performance, 7200 Surfscan mène le pack dans les capacités de test et d'inspection des plaquettes. Ses algorithmes de haute précision donnent des résultats de test fiables avec une précision, une répétabilité et une fiabilité statistique améliorées. Son équipement optique de pointe produit des images précises à haute résolution. Et sa sonde à faible force réduit le risque d'endommagement des composants sensibles et maintient l'intégrité des échantillons d'essai. Bref, KLA/TENCOR/PROMETRIX 7200 Surfscan est un système de test et de métrologie de plaquettes qui permet des résultats précis et précis à une fraction du temps et du coût par rapport aux méthodes traditionnelles. Sa technologie de pointe et ses caractéristiques puissantes en font la solution idéale pour les essais et la métrologie complets et fiables des dispositifs semi-conducteurs.
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