Occasion KLA / TENCOR / PROMETRIX 7200 Surfscan #9255577 à vendre en France

ID: 9255577
Style Vintage: 1990
Patterned wafer inspection system 1990 vintage.
KLA/TENCOR/PROMETRIX 7200 Surfscan est un équipement d'analyse de surface et de métrologie conçu pour les essais et la mesure au niveau des plaquettes. Il s'agit d'un outil polyvalent de cartographie des plaquettes capable de fournir des mesures fiables et précises à travers de multiples applications telles que l'épaisseur des plaquettes, l'emplacement des défauts et la rugosité de surface. Il est conçu pour utiliser l'optique et la microscopie à force atomique sans contact (NCAFM) pour fournir des mesures de résolution 4X ou plus dans la gamme de 0,1 nm à 3 + mm. Le système fonctionne sur un PC Windows avec une unité d'acquisition d'image haute vitesse pour capturer les données d'image, permettant le traitement en temps réel des mesures pendant que les données sont acquises. Surfscan 7200 utilise une combinaison de microscopie optique (OM) et de microscopie à force atomique sans contact (NCAFM) pour fournir des données détaillées sur la morphologie de surface d'une plaquette. Le NCAFM utilise un microscope à force de résolution nanométrique à basse température pour mesurer la hauteur, la rugosité et la forme d'une surface en 2D et 3D. La machine NCAFM comprend un scanner Z qui permet un balayage automatisé à grande vitesse de toute la surface, ce qui donne une carte topographique précise. L'outil OM utilise une caméra couleur haute résolution et un rétroéclairage LED pour visualiser et mesurer les détails de surface d'une plaquette. C'est l'interface entre les deux systèmes qui permet à Surfscan 7200 de mesurer minutieusement la surface d'une plaquette. Surfscan 7200 dispose d'un étage X/Y avec deux axes de mesure indépendants et une plage de 6 mm de diamètre avec une résolution maximale de 0.1nm. L'étage XY peut déplacer la plaquette à travers l'actif de mesure optique et NCFFM pour des scans 3D détaillés. Le modèle est également équipé de composants matériels et logiciels pour l'automatisation personnalisée, la mesure, l'imagerie et l'analyse de données. Surfscan 7200 inclut des logiciels et du matériel supplémentaires tels que AutoFocus, Hot/Cold Decking, et des logiciels de connexion à des systèmes de métrologie en ligne. Le Surfscan 7200 dispose d'un logiciel facile à utiliser qui réduit le temps de programmation de l'utilisateur en fournissant des paramètres pré-configurés et éprouvés, tels que la vitesse et la taille optimisées du balayage, pour les mesures au niveau des plaquettes. Il permet également à l'utilisateur de personnaliser les paramètres pour des applications spécifiques. Le logiciel est capable de générer une analyse détaillée des données, y compris la topographie de surface, l'inspection des défauts, l'analyse des fonctionnalités, et bien plus encore. De plus, le logiciel est conforme à diverses normes internationales ainsi qu'aux normes SEMI. Surfscan 7200 est un équipement de métrologie standard de l'industrie conçu pour les tests et la mesure au niveau des plaquettes. Il est construit avec une technologie de pointe qui fournit une mesure très précise et fiable de manière rapide et efficace. Les composants intégrés matériels et logiciels en font une plate-forme polyvalente utilisée dans les applications de test et de métrologie au niveau des plaquettes.
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