Occasion KLA / TENCOR / PROMETRIX 7600 Surfscan #9065953 à vendre en France

KLA/TENCOR/PROMETRIX 7600 Surfscan est un outil de test de plaquettes et de métrologie. Il permet aux utilisateurs d'effectuer une détection, une cartographie et une révision avancées des défauts afin de soutenir la qualification et l'optimisation des processus de lithographie et l'analyse de la signature des défauts des technologies de lithographie de nouvelle génération. Il a la capacité de fournir un large éventail d'inspections, y compris la dimension critique optique (DCO), les mesures de topographie de surface des plaquettes (3D/2D), l'examen des défauts et la métrologie optique. KLA 7600 Surfscan dispose d'un alignement de focalisation automatisé, permettant aux utilisateurs d'obtenir une qualité de balayage OCD supérieure sur les plaquettes de 45nm et 90nm avec un débit élevé. Il dispose également d'un système d'auto-inspection, qui permet de capturer les défauts haute résolution des plaquettes à 2nm d'espacement en utilisant un algorithme breveté de mode intelligent. Le capteur de focalisation dynamique est utilisé pour améliorer la stabilité de la focale à travers un balayage à l'aide d'un capteur qui surveille et ajuste constamment la focale au fur et à mesure que le balayage progresse. TENCOR 7600 Surfscan dispose d'un outil Litescan pour détecter et imiter les défauts de différentes formes et tailles. L'outil utilise un laser infrarouge qui éclaire la plaquette et capture des images sans contamination ou endommagement de la plaquette. Il est également équipé d'une fonction MicroMapper, qui permet de détecter les défauts ultra-fins. Les données de défaut de chaque plaquette sont stockées dans une base de données afin qu'elles puissent être comparées à d'autres plaquettes en utilisant la fonction de cartographie 3D. PROMETRIX 7600 Surfscan combine plusieurs technologies, ce qui en fait l'un des systèmes de test et de métrologie de plaquettes les plus puissants disponibles. Elle peut fournir une analyse détaillée des défauts, un balayage sophistiqué au niveau des pixels, une analyse statistique des données et un examen des défauts. Cette combinaison de fonctionnalités garantit que les utilisateurs peuvent caractériser avec précision et efficacité les types de défauts et améliorer l'amélioration des processus.