Occasion KLA / TENCOR / PROMETRIX 7600 Surfscan #9073508 à vendre en France

KLA/TENCOR/PROMETRIX 7600 Surfscan est un dispositif d'essai et de métrologie de plaquettes conçu pour la recherche et la caractérisation de surface de petites structures électroniques. Il fournit des données approfondies pour le suivi du processus de fabrication, qui est crucial pour la production efficace et fiable d'appareils électroniques modernes. KLA 7600 Surfscan comprend trois composants principaux ; la station d'analyse, la station de métrologie optique et le Wafer Chuck Stage. La station d'analyse se compose de deux têtes de mesure de surfaces - la tête active, responsable des mesures électriques à double canal, et la tête passive, utilisée pour mesurer l'épaisseur du film plutôt que les caractéristiques électriques. La station de métrologie optique est utilisée pour mesurer la topographie de surface, ce qui permet d'évaluer et d'optimiser les motifs de haute résolution. Le Wafer Chuck Stage est un composant supplémentaire qui assure la précision du placement et de l'alignement de la plaquette, ainsi que le contact entre le couvercle et le substrat. TENCOR 7600 Surfscan dispose également d'un certain nombre d'autres composants. Cela comprend le module de résistance des feuilles haute fréquence, l'analyse TTV et les outils d'automatisation, ainsi que l'inspection optique des particules et la spectrométrie de masse des ions secondaires. La résistance des feuilles haute fréquence mesure la résistance des couches de couches minces, qui peuvent être utilisées pour optimiser les caractéristiques électriques. Le module d'analyse TTV, quant à lui, fournit des vues détaillées de la topographie de surface sur plusieurs plaquettes, développant un processus plus rapide et plus efficace pour la comparaison entre plaquettes et plaquettes. Les outils d'automatisation permettent de charger plusieurs modèles d'analyse et de caractérisation, tandis que l'inspection optique des particules fournit des dénombrements de particules de la plaquette. Enfin, la spectrométrie de masse ionique secondaire sépare les atomes et les molécules en masse pour une analyse de contamination facile et efficace. PROMETRIX 7600 Le système Surfscan offre une solution complète et de haute qualité à une variété de besoins de test de plaquettes et de métrologie. Avec la précision accrue et les capacités d'automatisation de l'appareil, il s'est avéré être une solution idéale pour la détection des défauts dans l'électronique moderne.