Occasion KLA / TENCOR / PROMETRIX 7600 Surfscan #9227522 à vendre en France
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ID: 9227522
Style Vintage: 1995
Patterned wafer surface inspection system
M/N: 249505 Analysis system
1995 vintage.
KLA/TENCOR/PROMETRIX 7600 Surfscan est un équipement de test et de métrologie de plaquettes conçu pour des applications de contrôle de haut débit et de qualité. Il utilise des technologies avancées d'optique, de détection et de traitement d'images pour mesurer avec précision la dimension critique (CD) et la topographie des surfaces des plaquettes, ce qui permet aux fabricants de détecter les défauts de production, de vérifier les caractéristiques de la couche critique des dispositifs et de mesurer la précision du recouvrement. Le système est composé d'un microscope à lumière motorisé, de deux lasers haute résolution, d'un appareil photo numérique et d'une suite logicielle intégrée. Le microscope est utilisé pour inspecter et représenter des surfaces de plaquettes jusqu'à 9 pouces de diamètre. Les lasers mesurent des caractéristiques dans plusieurs régions et fournissent des résolutions verticales jusqu'à 0,25 micromètres. La caméra capture une image couleur 12MP pour vérifier les défauts, et la suite logicielle fournit de puissantes fonctions d'analyse en temps réel telles que la mesure de CD et de film et la comparaison d'images en temps réel. KLA 7600 Surfscan est capable de mesurer des films et des appareils à des résolutions allant jusqu'à 0,25 micromètre, permettant aux fabricants de détecter avec précision les défauts de production, de développer des flux de processus optimisés et de créer des programmes d'optimisation de lots d'appareils à haut rendement (DMO). L'unité est également très fiable, émettant un bruit de fond minimal et offrant une précision et une répétabilité inégalées. TENCOR 7600 Surfscan est idéal pour les tests de plaquettes et les applications de métrologie, et fournit des résultats de haute précision rapidement et de manière fiable. Sa suite logicielle intégrée et facile à utiliser est optimisée pour l'acquisition de données, le contrôle statistique des processus (RCP) et l'analyse avancée, ce qui permet aux utilisateurs d'inspecter et d'analyser rapidement et efficacement les surfaces des plaquettes. De plus, la combinaison de technologie optique de pointe, de lasers haute résolution, de logiciels robustes et de support pour plusieurs substrats permet aux fabricants d'obtenir des résultats cohérents de haute qualité dans leurs applications de test de plaquettes et de métrologie.
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