Occasion KLA / TENCOR / PROMETRIX 7600 Surfscan #9274943 à vendre en France
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ID: 9274943
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 1993
Particle inspection station, 8"
Patterned surface inspection system
ARGON Laser
Power supply: 208 V, 60 Hz
1993 vintage.
KLA/TENCOR/PROMETRIX 7600 Surfscan est un équipement d'essai et de métrologie de plaquettes qui combine la mesure et l'inspection de la topographie et de la morphologie des plaquettes avec une plateforme automatisée. Il utilise le matériel de métrologie avancée et les innovations logicielles pour fournir des ingénieurs de processus avec des résultats reproductibles et fiables. Surfscan 7600 est un système polyvalent utilisé dans une variété d'industries, y compris les semi-conducteurs, les écrans plats et les photovoltaïques. KLA 7600 Surfscan combine une unité optique sans contact et une technologie de mesure de surface sans contact pour fournir des mesures topographiques et des images répétables à haute résolution. Il utilise des caméras CCD haute résolution pour capturer jusqu'à 200 images dans les directions horizontale et verticale du profil de surface d'un échantillon. De plus, la machine intègre un étage d'échantillonnage automatique 8 axes pour permettre un balayage de haute précision d'un échantillon entier. Cette combinaison de balayage automatique et de profilage optique sans contact permet des mesures topologiques rapides et très précises sur des échantillons hétérogènes sans entrée mécanique de l'utilisateur. Pour l'analyse, le 7600 dispose de plusieurs paquets d'analyse, y compris le logiciel populaire SP3D pour l'analyse de profil 3D, et MV3D pour l'analyse de la rugosité. Utilisant une architecture parallèle, SP3D traite rapidement les données pour des mesures telles que les hauteurs d'étapes, l'imagerie à une ou plusieurs profondeurs de focalisation, les défauts, les bosses, la zone de caractéristiques et l'écart. Le Surfscan 7600 prend également en charge une variété de logiciels de métrologie standard pour la collecte et l'analyse de données statistiques. TENCOR 7600 Surfscan est équipé de nombreuses fonctionnalités pratiques qui améliorent sa capacité de métrologie. Des caractéristiques telles que l'auto-alignement d'une touche, le balayage automatisé des échantillons et le profilage précis x-y-z, zone de lit permettant des données de plusieurs tailles d'échantillons. De plus, le 7600 est livré avec un outil de contrôle environnemental interne pour assurer la stabilité des mesures de profils d'échantillons à travers les températures et les humidités relatives, ce qui permet à l'actif de prendre des mesures précises à travers diverses géographies et climats. Enfin, le 7600 dispose d'un modèle de traitement d'échantillons piloté par logiciel, qui permet à la fois le traitement manuel et automatique des plaquettes. Dans l'ensemble, 7600 Surfscan est un équipement de test et de métrologie de wafer de pointe spécialement conçu pour mesurer et inspecter les caractéristiques topographiques d'échantillons hétérogènes. Il fournit aux ingénieurs de processus des résultats fiables et reproductibles, avec une combinaison d'innovations matérielles et logicielles qui le distinguent de ses concurrents. Sa capacité d'imagerie haute résolution, ses paquets d'analyse complets et sa stabilité température/humidité en font un outil inestimable dans diverses industries.
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