Occasion KLA / TENCOR / PROMETRIX 7600 Surfscan #9299452 à vendre en France

KLA/TENCOR/PROMETRIX 7600 Surfscan est un équipement d'essai et de métrologie de wafer qui dispose d'une plate-forme technologique de pointe pour permettre des inspections critiques, la caractérisation et le contrôle des processus dans un large éventail d'applications semi-conductrices et optoélectroniques. Le système est composé de deux modules, le module microscope électronique à balayage (SEM) et le module microscope à force atomique (AFM). Le module SEM offre une imagerie haute résolution et des mesures automatisées pour permettre une analyse approfondie de la topographie des plaquettes et des défauts de surface. Il permet de détecter les imperfections de surface au niveau des microns, ainsi que de mesurer et d'analyser les profils des caractéristiques telles que les hauteurs des marches, la rugosité des bords et la rugosité centrale. Le module AFM fonctionne dans des conditions ambiantes et sous vide pour fournir une imagerie de résolution au niveau atomique avec une résolution au niveau du nanomètre. Il peut être utilisé pour la caractérisation des surfaces et des nanostructures pour soutenir le développement des procédés, la surveillance de la production et l'analyse des défaillances. KLA 7600 Surfscan est conçu pour rationaliser la métrologie des plaquettes avec ses fonctions automatisées d'alignement, de numérisation, de mesure et d'analyse des données. L'unité comprend une machine de manutention rapide, précise et sécurisée. Il est équipé d'une caméra CCD couleur haute résolution et d'un étage XY motorisé qui peut rapidement déplacer la plaquette aux positions souhaitées avec une précision répétable. L'outil est également équipé d'un mécanisme automatisé de changement de lentille et de focalisation qui peut changer l'objectif du microscope au réglage le plus approprié pour fournir une précision et une répétabilité analytiques plus élevées. En outre, TENCOR 7600 Surfscan comprend un puissant outil de traitement de données qui permet de collecter et d'analyser les données livrables avec des capacités de cartographie, d'édition et de reporting. Dans l'ensemble, 7600 Surfscan est un puissant modèle de test et de métrologie des plaquettes qui combine une technologie de pointe, un traitement sécurisé des plaquettes et un traitement sophistiqué des données pour permettre une analyse rapide et précise des défauts et une analyse des défaillances. Cet équipement peut détecter et caractériser les imperfections de surface et les nanostructures pour permettre le contrôle critique de processus pour une large gamme d'applications semi-conductrices et optoélectroniques.