Occasion KLA / TENCOR / PROMETRIX AIT I #9221583 à vendre en France

KLA/TENCOR/PROMETRIX AIT I est un équipement d'essai de plaquettes et de métrologie développé par KLA Corporation et TENCOR Corporation. Ce système est conçu pour l'analyse rapide et précise des plaquettes semi-conductrices dans le processus de fabrication. Il s'agit d'une unité automatisée d'inspection et de métrologie des plaquettes capable de mesurer la largeur des lignes, la planéité, l'alignement de recouvrement et la topologie de surface des plaquettes avec une précision et une répétabilité supérieures. KLA AIT I utilise des technologies exclusives telles que le logiciel de mesure totale (TMS) et l'interface de programmation d'applications (API) pour obtenir des résultats précis et reproductibles. La machine contient le Wafer Analysis Center (WAC) qui intègre les fonctions TMS et API ainsi que d'autres composants tels que les capteurs et les têtes d'imagerie, les centres d'acquisition de données en réseau, et les Wafer Handlers. Les capteurs et les têtes d'imagerie utilisent des dispositifs à couplage de charge (CCD) pour scanner et mesurer des plaquettes avec des largeurs de balayage, des densités d'échantillonnage et des capacités de mesure variables. Les centres d'acquisition de données en réseau recueillent et analysent les données des capteurs et des têtes d'imagerie afin de générer avec précision une carte globale des caractéristiques des plaquettes pour le contrôle de la qualité. Les Wafer Handlers permettent à l'outil TENCOR AIT I de déplacer et de guider les wafers pour être positionnés avec précision pour la détection et la mesure des bords. Le logiciel de mesure totale (TMS) est chargé de contrôler les capteurs et les têtes d'imagerie, d'afficher les données recueillies et de diffuser les résultats de mesure sur une imprimante ou un ordinateur au besoin. Le TMS contient également un certain nombre d'approximations linéaires et non linéaires avec des outils de mesure des défauts et des traceurs de caractéristiques pour déterminer la pertinence d'une plaquette. L'interface de programmation d'applications (API) se connecte à divers systèmes tiers tels que CAO, Visualisation, Acquisition de données et Wafer Fabrication. Cela permet d'intégrer facilement le TMS dans l'architecture existante d'un utilisateur. L'API permet également aux développeurs de créer et de développer des logiciels personnalisés d'analyse de plaquettes dans une variété d'environnements. Dans l'ensemble, l'actif est un modèle d'essai et de métrologie de plaquettes très précis et fiable. Sa répétabilité et sa précision combinées à ses différentes caractéristiques et composants font de PROMETRIX AIT I un excellent choix pour le contrôle de la qualité des plaquettes.