Occasion KLA / TENCOR / PROMETRIX AIT I #9277680 à vendre en France
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KLA/TENCOR/PROMETRIX AIT I est un équipement leader d'essai et de métrologie de plaquettes qui fournit des outils d'application et de mesure de pointe pour réduire le temps et le coût des processus d'essai et de mesure tout en améliorant la qualité des résultats. Le système comprend des algorithmes très avancés pour analyser les plaquettes d'épaisseur et de forme variables pour les défauts et la non-uniformité. L'unité supporte diverses applications de métrologie des plaquettes pour divers segments de l'industrie des semi-conducteurs, comme l'ingénierie au niveau des plaquettes, le développement de processus, l'ingénierie post-processus, l'optimisation des rendements et la caractérisation des appareils. La machine AIT I de KLA prend en charge une variété de techniques traditionnelles de métrologie des plaquettes, telles que les microscopies de focalisation-variation, d'analyse en hauteur et de balayage d'électrons et de force atomique. Il prend également en charge la détection et l'analyse avancées des défauts, y compris la profondeur de gravure de la dimension critique (CD), la longueur de ligne du CD, via la profondeur, la diffraction des bords et la transmission du CD. L'outil se compose de trois parties : une tête d'essai, un actif de métrologie et un outil de mesure. La tête d'essai est un porte-plaquettes motorisé conçu pour tenir plusieurs plaquettes, permettant un alignement précis lors de la mesure de différents dispositifs. Le modèle de métrologie comprend une série d'outils logiciels conçus pour analyser, surveiller et optimiser les opérations de processus. L'outil de mesure est une caméra CMOS avancée qui prend des images haute résolution de la plaquette, permettant une détection et une analyse précises et détaillées des défauts. L'équipement TENCOR AIT I intègre des algorithmes sophistiqués d'analyse d'images, qui lui permettent de détecter et d'analyser même les plus petits défauts et problèmes d'uniformité sur plusieurs plaquettes. Le système offre également un alignement rapide au niveau des plaquettes et la mesure des variations de processus, permettant de prendre des décisions rapides et précises sur la qualité des produits et l'optimisation des processus. Dans l'ensemble, l'AIT I est une unité d'essai et de métrologie complète conçue pour minimiser les coûts et accroître l'efficacité. En combinant des outils automatisés avancés à l'imagerie haute performance et à l'analyse d'images, la machine PROMETRIX AIT I permet aux fabricants de plaquettes d'identifier avec précision et rapidement les défauts et les problèmes d'uniformité. Cela les aide à optimiser rapidement leurs processus pour un maximum de performance et de qualité.
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