Occasion KLA / TENCOR / PROMETRIX FT-750 #293652818 à vendre en France

KLA/TENCOR/PROMETRIX FT-750 est un équipement d'essai et de métrologie de plaquettes conçu pour fournir des mesures précises, fiables et répétables de plaquettes à semi-conducteurs de 300mm et plus et mourir dans un environnement de production. Ce système offre des capacités d'essai complètes, y compris l'inspection automatisée des défauts, l'analyse automatique des particules, les mesures optiques et électriques, la superposition, la discrimination des défauts et l'analyse des défaillances. KLA FT-750 est une unité automatisée de haute précision qui utilise un interféromètre multi-capteurs commandé par ordinateur, une caméra à couplage de charge, un sous-système robotique relié à grande vitesse et une interface utilisateur sophistiquée. L'interféromètre délivré par TENCOR FT 750 est une machine d'imagerie de haute précision qui comprend un outil optoélectronique, un interféromètre, un étage mécanique et un manipulateur permettant l'imagerie de structures semi-conductrices sous différents angles. Cet atout intègre un interféromètre de transformée de Fourier de pointe conçu pour mesurer et représenter avec précision une variété de degrés de topographie et de variations de contraste optique sur un large éventail d'applications, y compris la photolithographie, la surgravure, le front-end-of-line (FEOL) et le back-end-of-line (BEOL). La caméra CCD fournit la stabilité et la précision requises pour les images haute résolution sur un large éventail d'applications. Le sous-système robotique à fermeture métallique facilite le chargement et le déchargement rapides et précis des plaquettes entre l'interféromètre et le plan de travail de l'utilisateur, et l'interface utilisateur hautement intuitive permet des séquences de mesure automatisées utilisant des fonctionnalités prédéfinies et des recettes de processus de test. Le modèle FT 750 de l'UCK comprend également des capacités complètes d'analyse statistique qui permettent de mesurer les changements dans les profils de caractéristiques résultant des processus de développement et de production. Ces caractéristiques ainsi que des capacités d'imagerie de défaut précises permettent une classification et une caractérisation des défauts fiables. Cet équipement comprend également une gamme complète d'outils de gestion du système, y compris la surveillance des processus de métrologie, les capacités automatiques d'intervention des opérateurs, l'optimisation du rendement et de la séquence de mesure, et la déclaration des erreurs. Cette unité polyvalente et complète permet à l'utilisateur d'accéder aux données dont il a besoin tout en éliminant les étapes manuelles et en réduisant les temps de cycle. Dans l'ensemble, FT-750 est une machine de test et de métrologie avancée qui offre une automatisation améliorée, une précision et une fiabilité améliorées, et un débit plus élevé. L'outil offre une gamme complète de capacités, permettant à l'utilisateur de surveiller et de coller les données dans un environnement de production, tout en fournissant des capacités complètes d'analyse statistique. L'interface utilisateur de l'actif permet d'automatiser les séquences de mesure et de rationaliser la classification et la caractérisation des défauts, ce qui en fait une solution idéale pour les applications semi-conductrices.