Occasion KLA / TENCOR / PROMETRIX M-Gage 300 #9412382 à vendre en France

KLA/TENCOR/PROMETRIX M-Gage 300 est un équipement avancé d'essai de plaquettes et de métrologie conçu pour le contrôle et l'analyse des processus semi-conducteurs. Le système fournit une métrologie complète des plaquettes des plaquettes nues aux structures complexes des appareils et est capable d'effectuer des mesures avancées telles que la dimension critique (CD), l'épaisseur des couches minces, les performances électriques et des données plus critiques pour les rendements des processus semi-conducteurs. L'unité comprend un module intégré de transfert de vide à trois étages pour un déplacement fiable d'une seule plaquette entre plusieurs chambres. Une machine à mouvement de haute précision entraîne l'ensemble du processus et fournit une large gamme de gammes de mouvement telles que X, Y, l'angle, la hauteur et la taille des plaquettes. KLA M-Gage 300 utilise l'imagerie haute résolution et la mesure automatisée pour fournir des résultats de test précis avec répétabilité et cohérence. L'outil dispose d'une plate-forme optique haute résolution avec un champ lumineux et une optique de champ sombre pour capturer et analyser les images critiques. L'actif d'imagerie grand champ de vision permet des mesures de grande surface qui sont critiques pour le contrôle du processus de l'appareil. TENCOR M-Gage 300 intègre une gamme de technologies de métrologie avancées telles que la scatterométrie optique, la microscopie électronique à balayage, le profil de surface 3D, l'ellipsométrie et l'interférométrie pour mesurer les caractéristiques physiques et électriques de structures multiples. Un logiciel intégré traite les données recueillies pour déterminer les caractéristiques de performance physique et électrique et les résultats sont présentés sous forme de tableaux pour une analyse plus approfondie. Le modèle est conçu avec flexibilité pour des expériences personnalisées telles que la commutation automatique d'instruments, l'analyse en temps réel de données antérieures et l'intégration de logiciels avancés, l'amélioration de l'image et d'autres techniques de métrologie avancées. Il offre la meilleure précision et fiabilité des données avec une répétabilité pour répondre aux exigences des principaux fabricants de semi-conducteurs. L'équipement s'intègre également au logiciel M-Gage Suite pour la collecte, le traitement et l'analyse de données avancées. Le logiciel permet aux opérateurs d'obtenir rapidement des informations exploitables à partir des données collectées à l'aide de ses algorithmes avancés. Le système utilise également des protocoles standard pour la saisie, la transmission et l'archivage des données pour une analyse plus approfondie. M-Gage 300 est une unité d'essai et de métrologie avancée conçue pour répondre aux exigences des principaux fabricants de semi-conducteurs et leur fournir des mesures précises et fiables du contrôle des processus au niveau des plaquettes. Avec son imagerie haute résolution, sa mesure automatisée, sa métrologie avancée et ses logiciels flexibles, les opérateurs sont sûrs de réaliser des expérimentations de qualité et de contrôler les processus.