Occasion KLA / TENCOR / PROMETRIX Omnimap RS-35CA #9227292 à vendre en France

KLA/TENCOR/PROMETRIX Omnimap RS-35CA est un équipement d'essai et de métrologie des plaquettes de pointe. Il est conçu pour être utilisé sur des dispositifs de mémoire et de logique de grande taille, des dispositifs de niveau wafer et de niveau die. Il s'agit d'un système intégré de mesure de haute précision qui combine plusieurs types de mesures comme la métrologie optique, les essais électriques, l'imagerie de champ lumineux/champ sombre et la microscopie électronique à balayage. L'unité RS-35CA offre une précision maximale à l'échelle nanométrique et une répétabilité élevée pour divers types de mesures, y compris les données électriques, les paramètres optiques, les réseaux 2D et les corrélations. Il offre également une excellente caractérisation de l'isolation et du dimensionnement des défauts pour tous les défauts et les défauts de hillock. La machine comprend une plate-forme multi-physique qui combine diverses technologies de balayage telles que la métrologie optique, les essais électriques, l'imagerie d'ombre et la microscopie électronique à balayage pour mesurer les dimensions exactes et la composition des matériaux d'un échantillon donné. Le RS-35CA offre une métrologie optique à 3 canaux pour sa mesure de haute précision de la largeur, de la profondeur et de la hauteur de chaque échantillon. Ceci est combiné avec une commande des techniques de test électrique AC et DC qui permet la détection et la caractérisation des défauts du dispositif. L'outil supporte également l'imagerie champ lumineux/champ noir pour l'isolement et la caractérisation des défauts, ainsi que le microscope électronique à balayage pour l'analyse de la structure de l'échantillon. Le RS-35CA offre également une gamme complète d'applications qui le rendent adapté à une variété d'applications de test de puces et de plaquettes. Il s'agit de la largeur de la ligne, de la rugosité du bord de la ligne, des mesures de l'arc/de la boîte, de l'analyse de la hauteur du pas, de l'imagerie réfléchissante, de l'analyse par spectroscopie et de l'imagerie par composition. De plus, l'actif supporte l'analyse de données, l'analyse de sensibilité des défauts et la cartographie orientée processus qui permet aux ingénieurs processus de comprendre le comportement de leur processus. Dans l'ensemble, le modèle KLA Omnimap RS-35CA est un équipement d'essai et de métrologie des plaquettes de pointe qui combine plusieurs techniques de mesure pour obtenir des résultats précis, reproductibles et fiables. Il est capable de fournir des informations fiables sur une variété de métriques et de paramètres d'appareils pour la mémoire et les dispositifs logiques de grande et petite taille.