Occasion KLA / TENCOR / PROMETRIX Omnimap RS-55TC #9182565 à vendre en France

KLA/TENCOR/PROMETRIX Omnimap RS-55TC est un équipement avancé d'essai de plaquettes et de métrologie, produit de KLA Corporation. Ce système offre une gamme complète de capacités utilisées pour inspecter et litho-tailler les appareils IC les plus complexes. Omnimap dispose d'une approche automatisée d'inspection descendante, qui utilise des optiques de haute précision, des détecteurs avancés, des systèmes d'éclairage et des algorithmes spécialisés pour trouver avec précision et de façon répétée même les moindres fonctionnalités sur une puce. La technologie Omnimap est construite autour d'applications spécifiques aux semi-conducteurs scientifiquement éprouvées, ce qui permet aux concepteurs d'IC de l'utiliser dans de multiples processus lithographiques et architectures de circuits. L'unité dispose de deux composants uniques : un outil de métrologie cartographique automatisé de 8 pouces, ainsi que la machine d'exposition TENCOR. La combinaison de ces deux technologies innovantes fournit des mesures de métrologie précises et répétables et un contrôle litho-accordage de précision. L'outil de carte automatisé de 8 pouces effectue une microscopie à double faisceau pour évaluer avec précision toute la surface d'une plaquette, y compris ses bords. L'actif évalue également l'uniformité du CD (CDU), les erreurs de doublure, la résistance au remplissage, les angles de flanc, la présence de motifs fictifs, les réglages du scanner et les paramètres d'exposition. Cela permet un réglage détaillé des processus d'exposition, assurant un contrôle précis et l'optimisation des processus photolithographiques. PROMETRIX modèle d'exposition permet à l'équipement d'ajuster les paramètres de processus tout en effectuant la métrologie en ligne, permettant la cohérence « wafer-to-wafer » et l'amélioration des performances du dispositif. Le système offre également une métrologie non destructive des plaquettes à faible volume, utilisant la technologie exclusive de jauge de contrainte Focal Plane Array (FPA). De plus, l'unité de balayage laser (LSS) offre une capacité de balayage à grande vitesse sur la plaquette testée, permettant aux utilisateurs de prendre des décisions en temps réel sur les ajustements des paramètres d'exposition. KLA OMNIMAP RS-55/TC offre une évaluation intégrée et complète des semi-conducteurs, permettant des progrès continus dans la fabrication d'IC. Cette machine permet une métrologie précise et répétable et le litho-tuning des plaquettes, assurant la performance du dispositif et fournissant aux fabricants les paramètres nécessaires pour produire les meilleurs IC. Grâce à ses technologies de pointe et à ses nombreuses capacités, TENCOR OMNIMAP RS-55T/C est considéré comme le premier outil dans le domaine des essais de plaquettes et de la métrologie.