Occasion KLA / TENCOR / PROMETRIX Omnimap RS-55TC #9194017 à vendre en France
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ID: 9194017
Taille de la plaquette: 8"
Four point probe resistivity mapping system, 8"
Manual wafer handling
Provides contour maps
3-D Plots
Diameter scans
Sheet resistance measurements
Ambient temperature and materials
Temperature Compensation (TC):
Temperature variations
Impact sheet
Resistance measurements: 1% / Degree
Temperature variations
Dramatic effect
Long-term repeatability
Accuracy
System-to-system matching
Power supply: 115 V, 50/60 Hz.
KLA/TENCOR/PROMETRIX Omnimap RS-55TC est un équipement d'essai et de métrologie de plaquettes haut de gamme qui est utilisé pour résoudre les problèmes d'adhérence, de surface et de planéité dans les essais de semi-conducteurs. Il est principalement utilisé dans la fabrication de micropuces pour diverses applications. Le système utilise des optiques de suppression à réflexion multiple (MRS) en attente de brevet pour fournir une image supérieure pour les échantillons de contraste inférieur. Ceci est utilisé pour mesurer les propriétés des matériaux tels que l'épaisseur, la largeur, la profondeur et la planéité des surfaces des plaquettes. Il dispose également d'un lecteur de focalisation dynamique qui maintient la focalisation des images tout au long du processus de test, et d'une unité de diagnostic intégrée (IDS) pour surveiller et étalonner les systèmes d'imagerie et de métrologie avant de prendre des mesures. D'autres caractéristiques de KLA OMNIMAP RS-55/TC comprennent une machine de manutention automatisée de plaquettes capable de monter, charger et décharger des plaquettes pour les tests, et un outil d'imagerie haute résolution de 5 mégapixels MISA™ avec lentille panaromique. Il dispose également d'un vidéomètre à double faisceau pour l'acquisition rapide d'images de test, et d'un outil de contrôle de processus pour surveiller et ajuster toutes les variables de processus. Le modèle est également conçu pour fournir des résultats d'essai précis et fiables avec une excellente répétabilité et reproductibilité à l'aide de l'optique électronique. Il dispose d'une fonction d'alignement automatique, qui lui permet de compenser rapidement et avec précision le pas de scène, le roulis et le lacet lors des essais. Il est également conçu avec un certain nombre de fonctionnalités conviviales, telles qu'une interface utilisateur graphique intuitive (UI) et une couverture d'accès qui permet aux techniciens d'atteindre et d'ajuster les composants pour les tests. Outre les caractéristiques mentionnées ci-dessus, l'équipement TENCOR OMNIMAP RS-55T/C offre une alternative peu coûteuse à la métrologie laser. Il offre également un rendement élevé avec un bon rapport signal sur bruit pour des résultats rapides et fiables. Le système offre des performances et une précision supérieures, et peut facilement résister aux exigences de l'industrie des semi-conducteurs. Il est également conçu avec la sécurité et la compatibilité à l'esprit et est compatible avec la majorité des micropuces standard disponibles aujourd'hui.
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