Occasion KLA / TENCOR / PROMETRIX Omnimap RS-55TC #9276304 à vendre en France

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KLA / TENCOR / PROMETRIX Omnimap RS-55TC
Vendu
ID: 9276304
Resistivity mapping system.
KLA/TENCOR/PROMETRIX Omnimap RS-55TC est un équipement automatisé d'essai et de métrologie de plaquettes qui utilise une technologie de détection optique avancée pour tester la qualité d'une plaquette pendant et après son processus de fabrication. Le système est conçu pour inspecter les plaquettes jusqu'à 200mm et pour mesurer les caractéristiques jusqu'à 0,25 mm. Cette unité utilise la technologie de balayage confocal chromatique pour créer des cartes 3D haute résolution de la plaquette et mesurer avec précision la hauteur des caractéristiques à travers la plaquette, et l'imagerie d'interférence optique pour une inspection rapide de la planéité et de la macro-topographie de la plaquette. La machine dispose également d'un outil de métrologie de la rugosité transversale qui utilise un sous-système XY motorisé et une source lumineuse à diode laser pour réaliser des mesures morphologiques de surface hybrides avec une résolution de 0,5 μ m. L'actif est conçu pour être entièrement automatisé et intégré dans un environnement de production, avec un modèle de manutention automatisé des plaquettes et une large gamme d'options d'interaction des plaquettes. L'équipement fournit également des capacités de contrôle de processus de qualité industrielle, permettant la surveillance de processus multiples et fournissant des commentaires pour maintenir des conditions de processus optimales. Le système fournit des évaluations de la qualité des plaquettes en temps réel et peut être utilisé pour identifier les défauts et surveiller l'uniformité des processus. De plus, l'unité fournit des fonctions d'analyse avancées axées sur les données pour aider à identifier les tendances du processus qui peuvent être utilisées pour l'amélioration continue. Le RS-55TC peut fournir différents résultats de test en fonction de l'application spécifique car il est pré-programmé avec le logiciel d'inspection des plaquettes et de métrologie. Il peut être programmé pour traiter des plaquettes en différents matériaux tels que le silicium, l'arséniure de gallium et le carbure de silicium. La machine intègre également un algorithme Smart Binning qui permet d'identifier des plaquettes qualifiées et d'assurer de bons rendements. En résumé, KLA OMNIMAP RS-55/TC est un outil automatisé d'essai et de métrologie des plaquettes conçu pour répondre aux besoins du marché mondial des semi-conducteurs. L'actif utilise une technologie de détection optique avancée pour mesurer les caractéristiques jusqu'à 0,25 um et fournit des capacités de contrôle de processus de qualité industrielle pour maintenir des conditions de processus optimales. Il est capable de fournir différents résultats de test pour différentes applications et matériaux, et intègre un algorithme Smart Binning pour améliorer le rendement et réduire le risque de déchets dans la production.
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