Occasion KLA / TENCOR / PROMETRIX Omnimap RS-75 #9162058 à vendre en France

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ID: 9162058
Tabletop resistivity mapping system P/N: 52-0616 1999 vintage.
KLA/TENCOR/PROMETRIX Omnimap RS-75 est un équipement d'essai et de métrologie de plaquettes à haute performance conçu pour l'inspection de surface de précision et la caractérisation des processus des plaquettes. Il combine un équipement avancé d'inspection optique automatisée (AOI) avec une métrologie intégrée sophistiquée pour des mesures précises au niveau des plaquettes. Le RS-75 peut mesurer avec une précision supérieure à un micron (1 μ m), ce qui rend l'imagerie haute résolution et les mesures possibles pour une variété de matériaux de plaquettes et de types de substrat. Le RS-75 est un système d'analyse de surface rapide et de grande surface qui combine plusieurs technologies de métrologie en une seule plate-forme. Il est équipé d'un étage de plaquette à cinq axes qui peut être géré à partir des commandes intégrées pour un large éventail d'applications. Les méthodes de mouvement à cinq axes et de métrologie de haute précision permettent le balayage et l'inspection de grandes surfaces de plaquettes à grande vitesse. Il assure également une mesure rapide et précise de toutes les caractéristiques irrégulières, telles que les rayures, les fosses ou les taches, avec l'intégration de l'imagerie optique et profilométrique avancée. Pour l'inspection de surface, le RS-75 utilise une technologie efficace d'imagerie de champ lumineux avec une optique sophistiquée. Il est capable de capturer des images dans différentes configurations avec une résolution maximale jusqu'à 5µm. De plus, l'unité d'éclairage à plusieurs étages permet des inspections de transmission, obliques, de réflectance et de motifs dispersés qui peuvent détecter une variété de caractéristiques et de défauts. Le RS-75 est également une plate-forme de métrologie avancée fournissant une variété d'outils pour la métrologie dimensionnelle de précision. Il vient avec un non-contact 3DPro la technologie spectroscopique qui utilise la lumière reflectance pour mesurer des profils de surface avec la haute précision. La technologie omnidirectionnelle et sans contact permet également la reconstruction 3D des surfaces de la plaquette pour une analyse plus poussée. Le RS-75 dispose également d'un large éventail d'outils logiciels pour l'acquisition, le traitement et l'analyse de données. Outre la reconnaissance automatique des fonctionnalités et la comparaison des motifs, le logiciel peut également générer des rapports automatiquement pour l'analyse de façon pratique. Dans l'ensemble, KLA Omnimap RS-75 est une puissante machine d'essai et de métrologie de plaquettes conçue pour des inspections de surface de haute précision et la caractérisation des processus. Il est livré avec des méthodes avancées d'imagerie et de métrologie, ainsi que des outils logiciels pour la reconnaissance automatisée des fonctionnalités et le compte rendu. C'est une plate-forme idéale pour les fabricants de plaquettes pour leur contrôle de qualité et le développement de processus.
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