Occasion KLA / TENCOR / PROMETRIX Omnimap RS-75 #9163055 à vendre en France

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ID: 9163055
Taille de la plaquette: 8"
Resistivity mapping system, 8" Automatic open cassette notch alignment Dual loadport Currently installed and stored in cleanroom.
KLA/TENCOR/PROMETRIX Omnimap RS-75 est un équipement d'essai et de métrologie des plaquettes qui permet une analyse rapide et précise des plaquettes semi-conductrices. Le système se compose d'un étage de plaquette qui peut transporter une plaquette semi-conductrice jusqu'à une taille maximale de 300mm. L'unité est équipée d'une optique haute performance (jusqu'à 400X grossissement) et d'une variété de capteurs intégrés et d'outils d'inspection qui permettent une inspection détaillée des plaquettes. La machine est capable de mesurer la topographie de surface, la planéité de surface, la résistivité, l'épaisseur, la densité de défauts, et d'autres paramètres. Le RS-75 dispose de deux systèmes de détection - détection de focalisation et détection de dispersion. L'outil de détection de focalisation utilise un faisceau laser dirigé sur la surface de la plaquette pour mesurer les hauteurs d'irrégularité de surface jusqu'à une résolution de 0,1 micron. Le matériel de détection de diffusion utilise la lumière laser qui est passée à travers la plaquette et permet une inspection automatisée des caractéristiques de surface. Le modèle comprend également un étage de plaquette à trois axes programmable et automatisé sans contact. Cela permet un positionnement précis de la plaquette à l'intérieur de l'équipement pour des essais et des contrôles précis. En outre, le système est équipé d'une unité d'acquisition d'images haute vitesse qui peut capturer plusieurs milliers d'images par seconde pour une précision maximale de test. KLA Omnimap RS-75 prend en charge le logiciel Auto Map, qui permet à l'utilisateur de prérégler les paramètres de mesure et de faire saisir et analyser les données de la machine en conséquence. L'outil comprend également une interface utilisateur entièrement programmable basée sur l'interface graphique qui permet de configurer et d'analyser facilement les données. L'actif est conçu pour une répétabilité et une précision maximales pour diverses applications, y compris la métrologie de surface des plaquettes, l'inspection des défauts, l'analyse des pannes, et plus encore. Son optique avancée, ses tests efficaces et ses mesures automatisées en font un choix idéal pour les applications les plus exigeantes de test de plaquettes semi-conductrices.
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