Occasion KLA / TENCOR / PROMETRIX P-20H #9188378 à vendre en France
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ID: 9188378
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 1996
High resolution profiler, 8"
Wafer shape: SNNF (Semi notch no flat)
Cassette port
Wafer cassette: 8” PP (Miraial: KM-803P-K)
SMIF Interface: No
Includes:
Computer unit
Sensor (Micro head 1 LF)
Open wafer handler, 8"
Star JR-100 graphic printer
Option: SECS/GEM
1996 vintage.
KLA/TENCOR/PROMETRIX P-20H est un équipement d'essai et de métrologie de plaquettes spécialement conçu pour l'inspection des plaquettes semi-conductrices. Il dispose d'une séquence de métrologie automatisée qui effectue des fonctions de métrologie 2D complètes pour des résultats de test en salle blanche rapides. Le système est équipé d'étages motorisés à grande vitesse, d'algorithmes basés sur des modèles et de détection bidimensionnelle multi-capteurs de tailles et de formes. KLA P-20H peut mesurer des hauteurs d'étapes, des profils CD sur tous les substrats, des superpositions, des paramètres électriques, et plus encore. L'unité est équipée d'un microscope optique, qui comprend un module LED de lumière blanche vive pour l'imagerie de la plus haute qualité. Un objectif allant de 5X à 50X est également disponible, pour donner une variété de grossissements et une meilleure focalisation sur les petites fonctionnalités. TENCOR P20H utilise également une étape d'auto-échantillonnage qui assure une métrologie précise et rapide à des vitesses allant jusqu'à 200 wafers par heure, ce qui en fait une excellente solution pour les lignes de production à rythme rapide. La machine intègre également un large éventail de fonctionnalités, telles que sa génération automatique de rapports, son interface utilisateur intuitive, son logiciel d'inspection des défauts compatible avec les normes ANSI, une bibliothèque de paramètres personnalisables et une analyse détaillée des profils de CD. De plus, KLA P20H a intégré des technologies de manutention de plaquettes multiples (quartz, pylône, mandrins en plein air) et diverses techniques de métrologie basées sur la vision (p. ex. VIS, SPL, SEM, AFM, X-Ray). En outre, P20H outil est entièrement compatible avec les systèmes d'entreprise E-AIMS, fournissant une intégration transparente avec des rapports de données très détaillés et personnalisés. En outre, l'actif peut être facilement commandé à partir d'un PC régulier, éliminant tout coût superflu associé à un professionnel de l'installation. En conclusion, P-20H est un modèle de test et de métrologie haute performance qui maximise le débit et la précision des tests, ce qui en fait un choix idéal pour une variété d'applications. L'équipement est équipé d'une optique de pointe, d'une génération automatisée de rapports, d'une interface utilisateur intuitive, d'un support technologique de manipulation multiple des plaquettes et d'une variété de techniques de métrologie basées sur la vision. En outre, en raison de sa compatibilité avec les systèmes d'entreprise E-AIMS, le système offre un degré sans précédent de flexibilité et de capacités d'intégration.
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