Occasion KLA / TENCOR / PROMETRIX P-20H #9243003 à vendre en France

L'équipement KLA/TENCOR/PROMETRIX P-20H Wafer Testing and Metrology est conçu pour mesurer les dimensions critiques dans la production de wafers semi-conducteurs. Ce système puissant est utilisé pour l'inspection des défauts, la recherche des bords de plaquettes, la génération de cartes de plaquettes, la superposition 2D, les mesures de hauteur de surface et d'autres applications émergentes. L'unité est constituée d'un gestionnaire de plaquettes, d'une étape d'inspection et de deux optiques d'imagerie. Le manipulateur est capable de traiter jusqu'à 90 plaquettes dans une seule cassette de 6 pouces et peut transporter les plaquettes en toute sécurité vers et depuis le poste d'inspection. Cela garantit une manutention et un transport fiables et sécurisés des plaquettes. Le gestionnaire de plaquettes est programmé pour gérer le chargement, le transport, le déchargement et le rangement de la cassette, offrant ainsi une flexibilité pour de multiples configurations de processus par lots et par plaquette unique. L'étape d'inspection comprend une paire d'optiques d'imagerie sophistiquées qui peuvent être utilisées pour inspecter les plaquettes pour l'analyse de la surface et des dimensions critiques. L'optique d'imagerie peut détecter divers défauts, notamment des nodules, des taches planes, une réflectivité, une orientation moléculaire, une épaisseur de plaquette, une hauteur et une rugosité de surface. L'optique a une dynamique élevée et peut représenter des structures 2 à 4 fois plus petites que le pouvoir de résolution du gestionnaire de plaquettes. La machine comprend également un outil intégré d'étiquetage des défauts qui peut identifier et étiqueter les plaquettes défectueuses. Ce processus d'étiquetage élimine la nécessité d'une classification manuelle des défauts et les coûts de temps associés. L'outil de métrologie de précision est capable de mesurer 10 nm sur une plaquette de 300 mm offrant une précision totale de mesure de la plaquette de 2,4 μ m. KLA P-20H fournit des images précises et à haute résolution des plaquettes à des temps de balayage relativement rapides. La combinaison des capacités de pilotage, d'acquisition de données, de métrologie et d'analyse des défauts permet à l'actif de mesurer et de caractériser rapidement et avec précision les plaquettes. Ce modèle est adapté à des applications de conditionnement avancées telles que les plaquettes bosselées et la filière de canal sur les plaquettes. De plus, l'équipement est également idéal pour l'analyse des défaillances et les mesures de die-to-die. Dans l'ensemble, le système TENCOR P20H Wafer Testing and Metrology est conçu pour offrir des performances supérieures et des économies importantes pour la production de semi-conducteurs. Avec sa manutention fiable des plaquettes, son optique de pointe, son étiquetage des défauts facile à utiliser et son outil de métrologie très précis, PROMETRIX P-20H est l'un des systèmes de test et de métrologie des plaquettes les plus polyvalents et les plus avancés du marché.