Occasion KLA / TENCOR / PROMETRIX Quantox 64100 #9281357 à vendre en France
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KLA/TENCOR/PROMETRIX Quantox 64100 est un équipement d'essai et de métrologie de plaquettes conçu pour des mesures de haute précision de diverses caractéristiques sur les plaquettes semi-conductrices. Le système permet l'analyse simultanée de plusieurs plans et fonctionnalités, et fournit un temps d'exécution rapide et une automatisation facile pour différentes tâches de production. KLA Quantox 64100 est spécialement conçu pour mesurer des paramètres de contrôle de processus serrés, tels que les largeurs et les emplacements de ligne, les profondeurs de gravure et les épaisseurs de dépôt. L'unité dispose d'un logiciel de réduction du bruit 3 dimensions (3D) intégré qui élimine le besoin d'alignement manuel et permet des résultats précis lors de la mesure des caractéristiques denses. Il est également construit avec la technologie de métrologie optique pour aider à assurer des résultats métriques toujours précis sur un large éventail de paramètres. Le TENCOR Quantox 64100 est équipé d'un rapport signal/bruit (SNR) leader dans l'industrie qui fournit des mesures précises et minimise les erreurs tout en maintenant un débit élevé. La machine intègre un objectif d'ouverture numérique variable (NA) ce qui signifie qu'elle peut être ajustée rapidement pour mesurer de petites caractéristiques, ainsi que des réseaux avec plusieurs plans ou des caractéristiques de chevauchement. D'autres caractéristiques comprennent un détecteur à faible bruit qui fournit une précision maximale, et une haute résolution, haute capture d'image de contraste des caractéristiques à différentes profondeurs. De plus, l'outil utilise des innovations telles qu'un chemin de faisceau amélioré pour améliorer la précision de mesure, et l'éclairage LED qui fournit un éclairage uniforme pour des mesures plus précises sur l'échantillon. PROMETRIX Quantox 64100 intègre également une technologie DLC (Dynamic Lens Compensator) et une technologie de compensation LSP, qui offre une longue distance de travail et réduit les phénomènes anormaux de trajectoire lumineuse. De plus, l'actif est livré avec un logiciel de mesure de fonctionnalités EDEN pour la reconnaissance automatisée de fonctionnalités multidimensionnelles, ce qui réduit considérablement le temps de mesure. Dans l'ensemble, Quantox 64100 est un modèle fiable de test de plaquettes et de métrologie spécialement optimisé pour les applications nécessitant un contrôle serré des processus. Avec des caractéristiques telles que la réduction avancée du bruit, le trajet amélioré du faisceau, l'éclairage uniforme, la technologie DLC et la reconnaissance multidimensionnelle des fonctionnalités, cet équipement fournit des résultats toujours précis et de haute précision qui répondent aux besoins de l'industrie de haute technologie d'aujourd'hui.
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