Occasion KLA / TENCOR / PROMETRIX Quantox #9193136 à vendre en France
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ID: 9193136
Wafer measurement system
Chuck: 8"
Open cassette with BROOKS PRI single end effector robot handler
Dual open cassette
Measurement head: LD / CO
Oven
Signal tower
UPS: No
Hardware configuration:
Load port: (2) Open cassette stations
Quickmap head
PDU
FG1 / FG2
Facilities:
Input power: 200 VAC +/-5%, 50/60 Hz
Input vacuum: 610 mm Hg
Input CDA: 75-100 PSI
Input N2: 75-100 PSI
Exhaust: 2000-4000 L/min
Currently crated.
KLA/TENCOR/PROMETRIX Quantox est un équipement d'essai et de métrologie entièrement intégré conçu pour être utilisé dans les environnements de production et de R&D. Complet avec une variété d'instruments puissants, KLA Quantox fournit des capacités complètes de métrologie et de test de plaquettes. Le système se compose d'un porte-substrat, d'un outil de métrologie, d'une unité d'inspection des plaquettes et d'une machine de contrôle informatique. Le porte-substrat est la base de l'outil où sont placées des plaquettes polies pour un traitement ultérieur. Il s'agit généralement d'un chargeur automatique ou manuel, permettant un chargement rapide et précis de la plaquette dans la machine. L'outil de métrologie de TENCOR Quantox est un atout complet de métrologie micro-optique. Il utilise un modèle automatisé de focalisation et de contrôle de grossissement pour mesurer jusqu'à quatre plaquettes simultanément. Sa puissante optique laser mesure les caractéristiques sur la plaquette tandis que son optique multi-segments fournit un ajustement automatisé et la finition pour assurer des mesures précises. L'équipement d'inspection des plaquettes est également un outil puissant. Il utilise un système optique unique pour détecter la présence de particules ou d'autres objets étrangers sur la surface de la plaquette. Il est également équipé d'une variété d'autres technologies de détection, telles que les rayons X, le faisceau d'électrons ou la microscopie par fluorescence, pour permettre une analyse détaillée des surfaces des plaquettes. L'unité de contrôle informatique de Quantox est conçue pour fournir un environnement de contrôle robuste et étendu pour une flexibilité maximale et une facilité d'utilisation. Son interface graphique utilisateur intuitive (UI) offre une gamme complète d'options de contrôle, y compris la cartographie des processus, la gestion des données des recettes, l'analyse des données et d'autres fonctions de contrôle spécialisées. PROMETRIX Quantox est une machine de test et de métrologie de plaquettes extrêmement puissante et polyvalente. Ses caractéristiques et ses performances en font le choix idéal pour tout environnement de production ou de recherche. Il fournit des capacités complètes d'analyse et d'essai de surface de la plaquette, en maintenant les coûts de production à un faible niveau et en assurant des résultats de rendement de la plaquette cohérents.
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