Occasion KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-100 #168088 à vendre en France
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Vendu
ID: 168088
Taille de la plaquette: 8"-12"
Resistivity measurement system, 8"-12"
Single open cassette station
Hardware Configurations:
Computer:
P3 733MHz
256MB RAM
38GB Fixed hard-disk drive
17-inch color VGA monitor or flat-screen LCD
CD-ROM drive
3.5-inch diskette drive, 1.44MB capacity
Handler:
25 slots 12” wafer with 12" ASYST open cassette load port
SBC: 486E
Controller: ESC-218BT Rev. 4.0
Robot: ATM-407B-1-S-CE-S293
Finger Type: Single Fork
Alignment System: Camera
Factory Automation: E40, E94, E90, E87
Software Configurations:
OS : Windows NT 4.00.1381
RS-100 Version 2.31.04 20051031 Debug
1.02a RS-100 Resistivity Tester Firmware
Measurement Specifications:
Measurement Range: 5m Ohm/sq - 5M Ohm/sq
Absolute accuracy: ±1% of NIST certified range, based on NIST(NBS) standard wafers corrected to 23oC
Measurement Repeatability: < 0.2% (1σ), based on KLA-Tencor’s “Probe Qualification Test”, 1 inch test diameter, using the appropriate probe head.
Edge Exclusion: 1mm from edge of film, using the appropriate probe head.
Temperature Accuracy: ±0.5°C
Temperature Repeatability: ±0.2°C
Measurement Capabilities:
Routine check: 1-30 sites programmable
XY map: up to 1,200 sites programmable
Single or dual configuration capability
Analysis Capabilities:
Contour/3-D map: 49, 81, 121, 225, 361, 441, 625 sites
Diameter scan: 49, 81, 121, 225, 361, 441, 625 sites
Probe qualification test: 20 sites, programmable radius
Trend and SQC charts
Histograms
Calibration curves for low dose monitoring
Throughput (5-site): 85WPH
Data Transfer Capabilities:
SECS-II, RS232 communication
Enhanced SECS-II for fully automated operation
Currently installed in cleanroom
2004 vintage.
KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-100 Wafer Testing and Metrology Equipment est une avancée technologique pour l'industrie des semi-conducteurs, offrant une expérience dynamique et fiable qui permet de réduire le temps et les coûts associés aux processus de production. Le système offre une combinaison unique de flexibilité, de précision et de vitesse, intégrant des outils de navigation, d'inspection et de métrologie dans une plateforme unique. KLA RS-100 fonctionne en voyageant sur une plaquette avec une unité de navigation intégrée qui cartographie son emplacement exact et mesure la taille, la forme et les caractéristiques de défaut. Cette navigation est facilitée par une machine de vision qui lit les numéros de série et les codes-barres uniques d'une plaquette, qui fournit des fonctions de suivi, d'analyse et de stockage des données. L'outil est également équipé d'une technologie de métrologie multi-capteurs pour la détection précise des bords, les mesures de planéité et l'uniformité des dimensions critiques du matériau. Les données recueillies par TENCOR RS100 permettent aux ingénieurs d'identifier et de quantifier rapidement et précisément les défauts sur les plaquettes. L'actif peut détecter une grande variété de défauts tels que des rayures, des bosses et des grattements, ainsi que des particules et des inclusions de contaminants particulaires. Il peut également détecter des matières étrangères, comme des particules alcalines et acides, des matériaux légers et des contaminants organiques. Compte tenu de cette capacité d'inspection très sensible, RS-100 est devenu le modèle de facto pour vérifier la propreté d'une plaquette. L'équipement est hautement personnalisable et comprend une variété d'outils, tels qu'une source lumineuse avec plusieurs longueurs d'onde et une caméra haute résolution. PROMETRIX RS-100 est équipé d'une gamme de capacités de mesure et peut mesurer la forme, la taille et la composition des caractéristiques des plaquettes. Les ingénieurs peuvent acquérir des informations sur les plaquettes simples et multiples en une seule fois et utiliser ces données pour prendre des décisions plus éclairées sur la façon d'optimiser les processus de production. KLA RS100 est facile à utiliser et intègre une interface tactile guidée par menu ainsi qu'un programmateur réseau. Les retours d'information de haute qualité et les rapports traçables rendent les processus de production plus efficaces tout en permettant aux ingénieurs de prendre des décisions rapides sur la base des données recueillies auprès de chaque plaquette. RS100 Wafer Testing and Metrology System est une solution innovante et fiable pour l'industrie des semi-conducteurs. Il offre un équilibre de capacités détaillées d'inspection visuelle, de métrologie et de traçage automatisé des données pour un contrôle de qualité rentable et une production efficace.
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