Occasion KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-100 #192556 à vendre en France

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ID: 192556
Style Vintage: 2004
Resistivity measurement system 300mm single FOUP handler Hardware Configurations Computer P3 733MHz 256MB RAM ◊ 38GB Fixed hard-disk drive 17-inch color VGA monitor or flat-screen LCD CD-ROM drive 3.5-inch diskette drive, 1.44MB capacity Handler 25 slots 12” wafer with 12" ASYST SMIF FL load port SBC: 486E Controller: ESC-218BT Rev. 4.0 Robot: ATM-407B-1-S-CE-S293 Finger Type: Single Fork Alignment System: Camera Factory Automation: E40, E94, E90, E87 Weight: 682 kg (1,500 lbs) Dimensions Height: 183.2 cm (73.1") Width: 134.2 cm (52.8") Depth: 175.3 cm (69.8") Software Configurations OS : Windows NT 4.00.1381 RS-100 Version 2.31.04 20051031 Debug 1.02a RS-100 Resistivity Tester Firmware Measurement Specifications Measurement Range: 5m Ohm/sq - 5M Ohm/sq Absolute accuracy: ±1% of NIST certified range, based on NIST(NBS) standard wafers corrected to 23oC Measurement Repeatability: < 0.2% (1σ), based on KLA-Tencor’s “Probe Qualification Test”, 1 inch test diameter, using the appropriate probe head. Edge Exclusion: 1mm from edge of film, using the appropriate probe head. Temperature Accuracy: ±0.5oC Temperature Repeatability: ±0.2oC Measurement Capabilities Routine check: 1-30 sites programmable XY map: up to 1,200 sites programmable Single or dual configuration capability Analysis Capabilities Contour/3-D map: 49, 81, 121, 225, 361, 441, 625 sites Diameter scan: 49, 81, 121, 225, 361, 441, 625 sites • Probe qualification test: 20 sites, programmable radius Trend and SQC charts Histograms Calibration curves for low dose monitoring Throughput (5-site): 85WPH Data Transfer Capabilities SECS-II, RS232 communication Enhanced SECS-II for fully automated operation 2004 vintage.
KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-100 est un équipement professionnel d'essai de plaquettes et de métrologie qui offre une analyse détaillée des plaquettes semi-conductrices. Ce système combine la puissance et la flexibilité des technologies d'inspection et de métrologie des plaquettes de pointe KLA avec la vitesse de traitement haute performance de la suite de contrôle de processus avancée TENCOR Axiom. Cette unité complète fournit une caractérisation complète de la géométrie des plaquettes, des défauts sur les plaquettes et des résultats de métrologie automatique, permettant aux clients de répondre rapidement aux problèmes critiques de contrôle des processus dans le fab. KLA RS-100 utilise une architecture optique sophistiquée pour offrir une imagerie haute résolution, une acquisition rapide de données et une imagerie à faible bruit. Il dispose d'un appareil photo numérique haute résolution et d'une optique d'ouverture numérique haute propriété conçue pour une couverture de plaquette optimisée et une détection de puissance. Les systèmes Zoom et Focus intégrés garantissent une image à haute résolution et à faible bruit pour une analyse fiable des données dans les processus les plus difficiles. La machine supporte également le scanner et la grille gravée EUV (Extreme Ultra Violet), ainsi qu'une grande variété d'autres procédés. L'outil utilise l'Axiom Advanced Process Control Suite de PROMETRIX pour analyser avec précision une variété de paramètres de défauts critiques et de métrologie, y compris la variation de pas et de tangage, la résistance du régime OPC, la dimension critique et la profondeur de focalisation. Tous les résultats communiqués sont corrélés aux paramètres du processus en temps réel, aux statistiques des séries et des lots et à la caractérisation complète du processus au fil du temps. Cette information est utilisée pour fournir des analyses perspicaces et obtenir un meilleur contrôle sur le processus, permettant aux utilisateurs d'identifier les défauts du processus et de faire les ajustements nécessaires efficacement et rapidement. En plus de l'analyse statistique standard, TENCOR RS100 propose des stratégies avancées axées sur l'IA, permettant la détection et l'analyse avancées des tendances des processus, permettant l'amélioration et l'optimisation des processus. Cet atout permet aux utilisateurs d'établir et de maintenir des programmes automatisés de contrôle des processus en fournissant les données nécessaires pour fixer rapidement les valeurs cibles et les dispositifs de rétroaction. De plus, ce modèle permet de générer des rapports visuels avec des dizaines de graphiques présentés en temps réel et peut être exporté directement vers plusieurs formats pour faciliter l'archivage et le partage des données. PROMETRIX RS-100 est conçu pour la propreté, la fiabilité et un faible entretien et dispose d'une interface graphique conviviale pour un fonctionnement intuitif. Ce système est particulièrement idéal pour les clients qui doivent réagir rapidement aux pannes de processus, identifier les problèmes de processus et communiquer rapidement avec l'équipe opérationnelle. Avec KLA RS100, les clients peuvent être assurés que leur processus fonctionne de manière efficace et fiable.
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