Occasion KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-100 #192556 à vendre en France
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Vendu
ID: 192556
Style Vintage: 2004
Resistivity measurement system
300mm single FOUP handler
Hardware Configurations
Computer
P3 733MHz
256MB RAM ◊ 38GB Fixed hard-disk drive
17-inch color VGA monitor or flat-screen LCD
CD-ROM drive
3.5-inch diskette drive, 1.44MB capacity
Handler
25 slots 12” wafer with 12" ASYST SMIF FL load port
SBC: 486E
Controller: ESC-218BT Rev. 4.0
Robot: ATM-407B-1-S-CE-S293
Finger Type: Single Fork
Alignment System: Camera
Factory Automation: E40, E94, E90, E87
Weight: 682 kg (1,500 lbs)
Dimensions
Height: 183.2 cm (73.1")
Width: 134.2 cm (52.8")
Depth: 175.3 cm (69.8")
Software Configurations
OS : Windows NT 4.00.1381
RS-100 Version 2.31.04 20051031 Debug
1.02a RS-100 Resistivity Tester Firmware
Measurement Specifications
Measurement Range: 5m Ohm/sq - 5M Ohm/sq
Absolute accuracy: ±1% of NIST certified range, based on NIST(NBS) standard wafers corrected to 23oC
Measurement Repeatability: < 0.2% (1σ), based on KLA-Tencor’s “Probe Qualification Test”, 1 inch test diameter, using the appropriate probe head.
Edge Exclusion: 1mm from edge of film, using the appropriate probe head.
Temperature Accuracy: ±0.5oC
Temperature Repeatability: ±0.2oC
Measurement Capabilities
Routine check: 1-30 sites programmable
XY map: up to 1,200 sites programmable
Single or dual configuration capability
Analysis Capabilities
Contour/3-D map: 49, 81, 121, 225, 361, 441, 625 sites
Diameter scan: 49, 81, 121, 225, 361, 441, 625 sites • Probe qualification test: 20 sites, programmable radius
Trend and SQC charts
Histograms
Calibration curves for low dose monitoring
Throughput (5-site): 85WPH
Data Transfer Capabilities
SECS-II, RS232 communication
Enhanced SECS-II for fully automated operation
2004 vintage.
KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-100 est un équipement professionnel d'essai de plaquettes et de métrologie qui offre une analyse détaillée des plaquettes semi-conductrices. Ce système combine la puissance et la flexibilité des technologies d'inspection et de métrologie des plaquettes de pointe KLA avec la vitesse de traitement haute performance de la suite de contrôle de processus avancée TENCOR Axiom. Cette unité complète fournit une caractérisation complète de la géométrie des plaquettes, des défauts sur les plaquettes et des résultats de métrologie automatique, permettant aux clients de répondre rapidement aux problèmes critiques de contrôle des processus dans le fab. KLA RS-100 utilise une architecture optique sophistiquée pour offrir une imagerie haute résolution, une acquisition rapide de données et une imagerie à faible bruit. Il dispose d'un appareil photo numérique haute résolution et d'une optique d'ouverture numérique haute propriété conçue pour une couverture de plaquette optimisée et une détection de puissance. Les systèmes Zoom et Focus intégrés garantissent une image à haute résolution et à faible bruit pour une analyse fiable des données dans les processus les plus difficiles. La machine supporte également le scanner et la grille gravée EUV (Extreme Ultra Violet), ainsi qu'une grande variété d'autres procédés. L'outil utilise l'Axiom Advanced Process Control Suite de PROMETRIX pour analyser avec précision une variété de paramètres de défauts critiques et de métrologie, y compris la variation de pas et de tangage, la résistance du régime OPC, la dimension critique et la profondeur de focalisation. Tous les résultats communiqués sont corrélés aux paramètres du processus en temps réel, aux statistiques des séries et des lots et à la caractérisation complète du processus au fil du temps. Cette information est utilisée pour fournir des analyses perspicaces et obtenir un meilleur contrôle sur le processus, permettant aux utilisateurs d'identifier les défauts du processus et de faire les ajustements nécessaires efficacement et rapidement. En plus de l'analyse statistique standard, TENCOR RS100 propose des stratégies avancées axées sur l'IA, permettant la détection et l'analyse avancées des tendances des processus, permettant l'amélioration et l'optimisation des processus. Cet atout permet aux utilisateurs d'établir et de maintenir des programmes automatisés de contrôle des processus en fournissant les données nécessaires pour fixer rapidement les valeurs cibles et les dispositifs de rétroaction. De plus, ce modèle permet de générer des rapports visuels avec des dizaines de graphiques présentés en temps réel et peut être exporté directement vers plusieurs formats pour faciliter l'archivage et le partage des données. PROMETRIX RS-100 est conçu pour la propreté, la fiabilité et un faible entretien et dispose d'une interface graphique conviviale pour un fonctionnement intuitif. Ce système est particulièrement idéal pour les clients qui doivent réagir rapidement aux pannes de processus, identifier les problèmes de processus et communiquer rapidement avec l'équipe opérationnelle. Avec KLA RS100, les clients peuvent être assurés que leur processus fonctionne de manière efficace et fiable.
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