Occasion KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-100 #293610237 à vendre en France

KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-100 est un équipement automatisé d'essai de plaquettes et de métrologie. Il est utilisé pour inspecter et mesurer l'homogénéité et les caractéristiques électriques des plaquettes et des dispositifs semi-conducteurs. KLA RS-100 utilise une plate-forme brevetée de solutions de mesure multiple (MMS), qui combine des technologies de test et de métrologie de pointe telles que la microscopie acoustique à balayage (SAM), la microscopie optique et la topographie par rayons X. TENCOR RS100 est conçu pour l'analyse efficace et précise des structures et des matériaux complexes des dispositifs semi-conducteurs. Il est intégré à un système avancé de détection et de révision automatiques des défauts (ADDR), qui permet non seulement d'accélérer l'analyse embarquée, mais aussi de détecter et de localiser les défauts à l'échelle du nanomètre. L'unité est également intégrée à une machine avancée de reconnaissance automatisée des motifs de faisceau D, qui permet de mesurer et de contrôler précisément le recouvrement des plaquettes. TENCOR RS-100 dispose d'un certain nombre de capacités d'essai et d'inspection automatisées qui garantissent l'uniformité, la répétabilité et la mesure précise des caractéristiques des plaquettes. Sa fonction de suivi multi-zones permet de suivre automatiquement les données des plaquettes et les défauts sur plusieurs plans focaux, tandis que la fonction de mesure multi-paramètres calcule simultanément plusieurs paramètres tels que la rugosité de surface, l'épaisseur, la concentration de dopant, la microscopie électronique (EMMI) - l'analyse des pixels, et l'uniformité. L'outil comprend également une technologie automatisée de compensation des dérives qui surveille et compense les distorsions mécaniques. L'actif est équipé d'un sous-système d'imagerie à rayons X haute vitesse capable de mesurer l'uniformité des plaquettes et les variations de largeur des lignes, d'un modèle d'imagerie en temps réel permettant de localiser rapidement les défauts, et d'une multitude d'outils d'analyse automatisés pour améliorer et améliorer la fonctionnalité des plaquettes. En outre, KLA RS100 dispose d'un équipement d'alignement assisté optiquement qui fournit l'alignement CCD de précision et la caractérisation optique. PROMETRIX RS-100 s'intègre parfaitement aux systèmes matériels et logiciels existants, et est disponible avec des outils de développement logiciel en option pour étendre ses capacités. Ainsi, en optimisant ses capacités intégrées de métrologie et de test, RS100 garantit des résultats précis et reproductibles pour les processus de développement des wafer, permettant aux fabricants de dispositifs semi-conducteurs de livrer des produits de haute qualité et fiables sur le marché.