Occasion KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-100 #9123627 à vendre en France
Il semble que cet article a déjà été vendu. Consultez les produits similaires ci-dessous ou contactez-nous et notre équipe expérimentée le trouvera pour vous.
Appuyez sur pour zoomer
Vendu
ID: 9123627
Taille de la plaquette: 8"-12"
Style Vintage: 2006
Resistance mapping system, 8"-12"
Single open cassette handler
Robot: ATM-107-2-S-CE-S293
Single fork
Controller: 6-0002-0865-SP
Trackball and keyboard standard
Alignment system: Camera
Factory automation: E40, E94, E90, E87
PC Configuration
CPU: PIII 850 MHz
Memory: 512 MB RAM
70 GB Fixed hard disk drive
17" VGA Monitor
CD-ROM Drive
Diskette drive capacity: 1.44 MB
Software configuration:
OS: Windows NT 4.00.1381
RS-100 Version: 2.31.04
Resistivity tester firmware: 1.02a
Measurement specification:
Measurement range: 5m Ohm/sq - 5m Ohm/sq
Absolute accuracy: 1% of NSIT certified range
Temperature accuracy: 0.5°C
Temperature repeat-ability: 0.2°C
Routine check: 1-30 sites programmable
Single or dual configuration capability
220 V, 15 A, 50/60 Hz, 1 Phase
2006 vintage.
KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-100 Wafer Testing and Metrology Equipment est une solution polyvalente pour l'inspection et la caractérisation des plaquettes minces. Grâce à la technologie brevetée du laser vert et aux algorithmes avancés de traitement d'images, il promet une précision, une rapidité et une répétabilité accrues pour l'inspection sans contact de surfaces d'échantillons délicates. Il est capable de mesurer avec une excellente précision de 10 nm à 10 mm, ce qui le rend adapté à une gamme d'applications allant de la métrologie des semi-conducteurs et de la lithographie à l'affichage des panneaux plats et à la métrologie et à l'inspection des cellules solaires. Les principales caractéristiques du système sont les suivantes : 1. L'utilisation de l'unité laser verte basse énergie, offrant une résolution et une stabilité de puissance supérieures. En conséquence, aucune machine de focalisation supplémentaire ou préparation d'échantillon n'est nécessaire. 2. Algorithmes automatisés de traitement d'image, ainsi que la programmabilité complète et la robustesse du fonctionnement. 3. Une large plage de mesure de 10 nm à 10 mm. 4. Haute précision et répétabilité. 5. Capacité de collage et de clavardage. 6. Précision de recouvrement élevée, fonctionnant sur une plage inférieure à 50 nm. 7. Traitement au niveau de la plaquette, afin d'obtenir toutes les mesures requises sur une seule puce. 8. Classification des défauts, topographie et imagerie transversale. 9. La capacité de détecter et d'isoler différents types de défauts. En outre, il comprend des technologies avancées de manipulation de substrat, ainsi qu'une variété de systèmes de base et d'options qui peuvent être combinés et adaptés à des exigences spécifiques. Parmi ceux-ci, des capteurs de positionnement de plaquettes et des actionneurs, ainsi que des logiciels avancés de reconnaissance de motifs. Toutes ces caractéristiques garantissent que KLA RS-100 offre des performances, une précision et une adaptabilité supérieures aux applications complexes de métrologie et d'inspection des plaquettes.
Il n'y a pas encore de critiques