Occasion KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-100 #9222500 à vendre en France

KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-100 est un système d'essai et de métrologie multi-capteurs haut de gamme conçu pour inspecter les structures des dispositifs semi-conducteurs. Il s'agit d'un système intégré en ligne capable de mesurer, d'inspecter et d'analyser les échantillons rapidement et avec précision. KLA RS-100 est équipé de trois composants principaux : un microscope optique, un interféromètre et un nanoscanner. Le microscope optique est utilisé pour mesurer la forme, la taille et la topologie des dispositifs individuels sur la plaquette. Son interféromètre mesure avec précision la planéité et l'uniformité des plaquettes, tandis que son nanoscanner peut détecter des particules et d'autres défauts jusqu'à l'échelle du nanomètre. Cette puissante combinaison de capteurs permet à TENCOR RS100 d'évaluer la qualité de la texture de surface d'une plaquette et de la comparer aux normes. Il vérifie également les défauts tels que la contamination des particules, les variations de largeur des lignes, la hauteur des marches, la contamination, les contacts et les grains. RS100 fournit un large éventail de méthodes de métrologie industriellement acceptées, y compris la métrologie confocale assistée par laser, la méthode de transmission, les points de référence multiples et l'analyse de la ligne de visée. La conception et le logiciel intégrés permettent la collecte et l'analyse automatiques des données. RS-100 comprend un environnement d'inspection in situ bien éclairé et un moniteur à panneau plat haute résolution avec une interface graphique utilisateur intuitive. Le système peut être intégré avec d'autres systèmes KLA pour des fonctionnalités supplémentaires. PROMETRIX RS-100 fournit des résultats fiables et reproductibles dans les essais de plaquettes, la métrologie et la détection des défauts. Ses capacités d'intégration et sa facilité d'utilisation le rendent bien adapté aux lignes de production, à la recherche et au développement et aux applications de qualification des procédés. Il est compatible avec une gamme de plateformes logicielles telles que TENCOR WaferMap, DBU et Microsoft Windows.