Occasion KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-35 #9156670 à vendre en France
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ID: 9156670
Taille de la plaquette: 2"- 8"
Sheet resistivity mapping system, 2"- 8"
Capable generating contour maps
3D Maps
Diameter scan: Up to 625 points.
L'équipement KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-35 Wafer Testing and Metrology est conçu pour les fabricants de circuits intégrés qui ont besoin d'une solution fiable, précise et puissante pour l'essai, l'inspection et la métrologie des wafers. Le système se compose de plusieurs composants modulaires - un gestionnaire de plaquettes, une unité de commande personnalisée, des outils de métrologie optique et mécanique, et une variété de capteurs - qui peuvent être personnalisés pour répondre aux besoins de mesures et de configurations d'essai spécifiques. Le gestionnaire de plaquettes intégré offre un mouvement précis et reproductible de plaquettes jusqu'à 200 mm avec une machine de commande de mouvement à trois axes, permettant un positionnement et une rotation rapides des plaquettes. Pour l'essai et l'inspection des plaquettes, KLA RS35 est équipée de systèmes de métrologie optique, mécanique et électrique sophistiqués, y compris : un outil d'inspection des bords, un outil de déploiement et d'identification des failles, et un modèle d'analyse de die-to-die. De plus, TENCOR RS 35 comprend l'interrogateur multi-capteurs (MSI), un outil de métrologie avancée qui peut mesurer ou inspecter des caractéristiques ou des motifs spécifiques sur des circuits intégrés, ainsi que l'ASEC (Surface Topology Detector), un dispositif utilisé pour mesurer la topologie de surface des plaquettes. L'équipement dispose également d'un microscope optique à 4 têtes et d'un détecteur CCD haute vitesse pour la capture de données d'image. De plus, la RS 35 comprend une variété de solutions avancées de contrôle des processus, telles que AutoScan, un système automatisé pour l'inspection des bords, l'identification des défauts et les mesures die-to-die, AutoCentrePro, une unité autofocus pour les systèmes de microscope et de métrologie, et AutoTrend, un logiciel flexible de tendance de données qui peut surveiller les performances d'une machine d'essai en temps réel. La suite logicielle intégrée KLA RS-35 assure le contrôle complet du matériel, des logiciels et de la gestion des données, y compris le suivi, l'étalonnage et l'archivage des plaquettes. Dans l'ensemble, RS-35 Wafer Testing and Metrology Asset est un appareil complet pour les tests et l'inspection de wafer haut de gamme, fournissant des solutions fiables et complètes pour la production de circuits intégrés. Les outils précis et le contrôle intelligent des processus du modèle, combinés à sa suite logicielle facile à utiliser, offrent des performances et une précision des résultats inégalées, permettant aux fabricants d'appareils de produire en toute confiance des puces de la plus haute qualité.
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