Occasion KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-35C #9266468 à vendre en France
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ID: 9266468
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 1995
Resistivity mapping system, 8"
1995 vintage.
KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-35C est un équipement d'essai et de métrologie de plaquettes conçu pour permettre l'essai et l'analyse automatisés de plaquettes et de dispositifs à semi-conducteurs. Ce système utilise le balayage laser, la reconnaissance et la classification automatiques des défauts, les mesures de dimensions critiques (CD) et l'analyse avancée des défauts afin de profiler et de caractériser les structures semi-conductrices. L'unité KLA RS-35C utilise un microscope à balayage laser sans contact avec des angles incidents variables pour générer des images topographiques détaillées d'un dispositif testé. Ce microscope est couplé à un étage motorisé multi-axes pour un balayage automatisé des plaquettes à haute vitesse et 360 degrés. L'algorithme logiciel de détection intelligente des défauts de la machine effectue une analyse d'image approfondie pour détecter, classer et stocker les défauts. Cet algorithme intelligent de détection des défauts est également capable de générer des rapports d'inspection avec des métriques détaillées sur la distribution des défauts et l'évaluation des rendements. TENCOR RS 35C dispose également d'une puissante capacité de métrologie CD, qui comprend des mesures rapides et précises de la ligne, de l'espace et d'autres caractéristiques miniatures d'un appareil. Cet outil utilise un microscope vidéo optique et un outil de traitement d'images vidéo à grande vitesse pour mesurer et analyser rapidement les caractéristiques des CD. Après les mesures sur CD, le logiciel du modèle fournit une analyse statistique complète des mesures sur CD pour suivre les performances et les tendances du rendement. En plus de ses capacités de métrologie CD, RS-35C est équipé d'outils avancés de contrôle des processus et d'analyse d'appareils défectueux. Il est équipé d'un analyseur de défauts avec des capacités améliorées d'imagerie rouge-lumière et de traitement d'image accéléré matériel pour identifier et analyser les appareils défectueux. Les rapports d'analyse contiennent des mesures détaillées des défauts pour le contrôle des processus, ainsi qu'une analyse au niveau des dispositifs pour l'analyse des dispositifs défectueux. Dans l'ensemble, RS 35C est un équipement fiable et efficace d'essai de plaquettes et de métrologie qui combine le balayage laser sans contact, la reconnaissance automatisée des défauts, la métrologie CD, le contrôle des processus et l'analyse défectueuse des appareils dans une plate-forme. Ce système permet une inspection et une analyse approfondies à grande vitesse des dispositifs semi-conducteurs et des plaquettes, contribuant ainsi à garantir des performances fiables des dispositifs semi-conducteurs sensibles.
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