Occasion KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-35C #9276502 à vendre en France

KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-35C est un équipement d'essai et de métrologie haute performance conçu pour répondre aux exigences les plus strictes en matière de précision et de répétabilité. Il est composé d'une série de composants qui permettent la mesure automatisée, accélérée et extrêmement précise d'une variété de caractéristiques liées aux matériaux semi-conducteurs. Le premier élément du système est son capteur de zone optique, qui est la base pour des inspections précises des structures et des caractéristiques des plaquettes individuelles. C'est une unité de numérisation qui comprend une suite d'optiques spéciales, d'électronique et de logiciels qui est capable de faire des mesures détaillées sur de petites sections de la plaquette, même jusqu'à l'échelle du nanomètre. Avec la capacité de mesurer un large éventail de paramètres dans la plus petite des tailles de fonctionnalités, cette machine peut scanner à plusieurs vitesses et résolutions pour mesurer rapidement et avec précision les caractéristiques caractéristiques de wafer telles que la largeur et la profondeur. Le réticule optique de l'outil permet une analyse complète en 3 dimensions des motifs de plaquettes. Cet atout est extrêmement précis, avec une capacité d'analyser une variété de modèles à un niveau de résolution nanométrique. Le réticule optique utilise également des optiques et des logiciels spéciaux qui permettent une détermination extrêmement précise de la taille des particules sur la surface de la plaquette. Le modèle contient également un équipement MicroStepper qui permet la mesure multidirectionnelle des caractéristiques de conception de taille micron sur la surface de la plaquette, même en présence d'objets tels que des bosses de soudure et des cassures. Avec la capacité de mesurer à partir de deux directions ou plus, ce système est capable de mesurer jusqu'à l'échelle du nanomètre avec un haut niveau de précision. L'unité KLA RS-35C comprend également la machine AutoAlign, qui est un algorithme sophistiqué conçu pour aligner rapidement et précisément l'optique du scanner et l'optique réticule à tout motif sur la surface de la plaquette. Cela garantit que chaque mesure effectuée par l'outil est précise et sans erreur. Enfin, la station comprend un actif Vacuum Chuck, qui assure que la plaquette est parfaitement parallèle et de niveau lors de la mesure. Ceci est extrêmement important, car même la moindre variation dans la position de la plaquette peut conduire à une imprécision des résultats. En résumé, TENCOR RS 35C fournit une solution pour l'essai de plaquettes de haute précision et la métrologie. Avec sa gamme de composants, y compris le capteur de zone optique, réticule optique, MicroStepper, AutoAlign et châssis à vide, ce modèle est conçu pour fournir une analyse extrêmement précise et fiable à tous les wafers testés.