Occasion KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-35C #9281758 à vendre en France

KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-35C
ID: 9281758
Taille de la plaquette: 2"-8"
Resistivity mapping system, 2"-8" 4-Points probe Vacuum: 300 mm HG Hard Disk Drive (HDD) PC Color monitor XY Pattern test Measurement range: 5 mΩ to 5 mΩ Maps: Average, difference, and ratio Calibration curves and correlation equations Trend and SQC charts Data import and export ASCII Copy to diskette Measurement options: Mapping (Up to 625 sites) Qualification test: Contour maps 3D Maps Diameter scans (Up to 625 sites) Quick tests: Standard and user-definable tests (Up to 30 sites) Accuracy: ± 0.2% (Standard resistor) ± 1% (NIST Wafer) Repeatability : <0.2% (1 sigma) Power supply: 115 / 230 V, 8 A, 50/60 Hz.
KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-35C est un équipement d'essai et de métrologie de wafer de pointe qui fournit des capacités complètes d'analyse et de détection de défauts. Il est conçu pour être utilisé dans des environnements avancés de caractérisation des procédés, tels que la fabrication de semi-conducteurs et les industries connexes. Le système est équipé d'une gamme de modes automatiques, non automatiques et semi-automatiques qui permettent aux utilisateurs d'analyser et de traiter rapidement les plaquettes. L'unité intègre une technologie d'imagerie haute résolution de pointe dotée de moyens de métrologie sophistiqués, y compris l'imagerie par contraste, l'inspection des défauts, la classification automatisée des défauts et la détection des défauts. Cette machine permet également aux utilisateurs d'effectuer toute une gamme de mesures automatisées, telles que des largeurs de ligne, des mesures de dimensions critiques, des mesures de recouvrement et des mesures de contraintes sur plaquettes. Les capacités de lithographie intégrées permettent aux utilisateurs de créer des motifs précis sur toute la zone de la plaquette. Un autre élément clé de l'outil est ses outils d'analyse embarqués. KLA RS-35C utilise une gamme de logiciels pour aider les utilisateurs à analyser leurs données. Des outils tels que Wafer Mapping Asset, Simulator/Analyzer et Data Reviewer permettent une inspection facile et complète de la surface de la plaquette. En outre, le modèle utilise des entrées graphiques intégrées pour l'optimisation des paramètres, ainsi que des algorithmes d'analyse pour la détection et l'analyse des défauts. L'utilisation de TENCOR RS 35C permet aux utilisateurs de recueillir avec précision et rapidement des données de processus pertinentes. De plus, ces données peuvent être combinées avec d'autres sources de données pour créer des métriques complètes qui permettent aux utilisateurs d'optimiser leurs paramètres de contrôle de processus. Cet équipement permet également un haut niveau de respect des normes de qualité établies, grâce aux capacités de détection et de mesure précises qui sont présentes. Dans l'ensemble, RS 35C est un système de test et de métrologie de plaquettes hautement capable, permettant aux utilisateurs de recueillir des données de traitement rapidement et avec précision. Sa gamme de fonctionnalités automatisées et non automatisées, combinée aux capacités d'imagerie haute résolution et de métrologie, en font une solution idéale pour les environnements avancés de caractérisation des processus.
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