Occasion KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-35C #9298820 à vendre en France

L'équipement KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-35C d'essai de plaquettes et de métrologie est un dispositif automatisé qui fournit des caractérisations et une analyse précises, répétables et précises de divers échantillons de plaquettes à semi-conducteurs. Il dispose de trois fonctions : le test des plaquettes, la métrologie et les mesures d'uniformité, qui sont tous réalisés dans une seule plate-forme. L'essai de la plaquette KLA RS-35C consiste à surveiller les caractéristiques électriques d'un échantillon telles que le courant continu, l'impulsion, le temps de réponse, le courant d'obscurité et le bruit de surface. Pour ce faire, on utilise la carte sonde spéciale du système, ainsi que le circuit auxiliaire de l'Autostation 8, qui fournit l'alimentation et le conditionnement du signal pour le test. La carte sonde est capable de réaliser des fréquences de test allant de 30 kHz à 20 MHz, avec une résolution allant jusqu'à 1Ω. L'unité de métrologie TENCOR RS 35C mesure l'intégrité structurelle et le niveau de défaut d'un spécimen. Son microscope électronique à balayage (SEM) permet l'acquisition d'images à haute résolution et amplification, avec des fonctionnalités automatisées de reconnaissance et d'analyse. La machine est équipée d'un SEM à pression variable, qui peut mesurer des plaquettes de dépôt légères et lourdes. Il est en outre capable d'effectuer une variété de mesures ectopattern, telles que la pente, le profil et la profondeur de rainure. Enfin, l'outil de mesure de l'uniformité KLA RS 35C permet de mesurer rapidement les paramètres du dispositif d'un spécimen dans une zone spécifique du dispositif. Ceci est réalisé en utilisant un actif avancé de reconnaissance de motifs RVB, qui est capable d'isoler des caractéristiques telles que la fuite de jonction, la panne de jonction, la tension de seuil et le courant de boucle. Globalement, le modèle PROMETRIX RS-35C d'essai et de métrologie des plaquettes fournit un moyen fiable de caractériser et d'analyser les plaquettes semi-conductrices. Il combine trois processus différents en un seul appareil compact, ce qui en fait un choix idéal pour une grande variété d'applications. Il offre un moyen efficace de mesurer les différentes caractéristiques d'un spécimen, ce qui en fait un outil important pour les laboratoires industriels et les installations de recherche.