Occasion KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-50 #9298896 à vendre en France

KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-50 est un équipement d'essai de plaquettes et de métrologie conçu pour le développement de produits, la surveillance des processus, l'analyse des défaillances et l'amélioration des rendements. Le système mesure les caractéristiques topographiques et les propriétés électriques des plaquettes semi-conductrices avec une grande vitesse et précision. L'unité combine des capacités automatiques de métrologie optique et électrique en une seule plate-forme. Ses capacités de métrologie optique utilisent la microscopie interférométrique 3D sans contact (NCI 3D) automatisée pour des mesures de topographie de surface rapides, sans défaut et non destructives. Les capacités de métrologie électrique non destructive de la machine comprennent la mesure à grande vitesse des champs électriques, de la résistivité, de la capacité et des fuites de courant. KLA RS-50 est optimisée pour mesurer une variété de technologies semi-conductrices et diélélectriques, y compris le silicium sur isolant (SOI), le silicium contraint, le MEMS et les diélectriques à haut K. L'outil mesure des wafers de 150 mm à 700 mm, et dispose d'une table dans laquelle le substrat est placé, permettant une configuration répétable et une précision améliorée. TENCOR RS-50 dispose d'un atout d'acquisition d'images de pointe, qui fournit un balayage rapide et un piquage automatisé des cartes de plaquettes. Il peut acquérir des images pleines de wafer en 1-2 minutes, et a la capacité de masquer et d'automatiser l'examen des défauts, avec une résolution réglable jusqu'à 0,75 μ m. La technologie NCI 3D du modèle fournit une cartographie haute résolution des caractéristiques à haut rapport d'aspect telles que les tranchées d'isolement, les ouvertures de contact et les tranchées en silicium polycristallin. RS-50 fournit une rétroaction en métrologie pour le contrôle des processus, permettant aux ingénieurs de processus d'apporter des améliorations au processus actuel ou d'optimiser de nouvelles recettes de processus. L'architecture flexible de l'équipement lui permet également de s'adapter facilement à l'évolution de la technologie et des applications. PROMETRIX RS-50 offre aux utilisateurs des capacités complètes de métrologie électrique, utilisant des techniques de pointe telles que les mesures de résistance des feuilles EBBED, la spectroscopie de modulation et les mesures de résistance des feuilles en 4 points. Il peut mesurer la résistance de contact, les condensateurs MOS et d'autres paramètres électriques, ainsi que mesurer de petites géométries jusqu'à 0,5 μ m. Dans l'ensemble, KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-50 de KLA est un système avancé d'essai et de métrologie des plaquettes qui fournit des mesures rapides et fiables pour le développement des produits, la surveillance des processus, l'analyse des défaillances et l'amélioration des rendements. Les capacités automatisées de métrologie optique et électrique de l'unité permettent aux utilisateurs de visualiser la topographie de surface, d'analyser les propriétés électriques et d'apporter des changements pour améliorer les performances et la qualité de l'appareil.