Occasion KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-50e #9022721 à vendre en France
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ID: 9022721
Taille de la plaquette: 2"-8"
4-Point probes, 2"-8"
Diameter platen: 8.5 Inch
Measurement range: 5 mohm / sq
Typical measurement time: 3.5-4.5 sec. per test site
3D Mapping
Minimum step size:
Radial: 0.0635 mm
Angular: 0.15°
Integrated connector
Measurement repeatability: <0.2% (1 Sigma)
Power requirements:
110 / 220V
<1 amp
50 / 60Hz
Pressure: 50p.s.i. (350kPa) : 40 - 60 psi
Vacuum: 300 mm Hg
Currently installed and stored in cleanroom.
KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-50e est un équipement d'essai de plaquettes et de métrologie. Il est conçu pour le contrôle frontal des processus semi-conducteurs et pour l'optimisation des performances des appareils. Le système offre des capacités de cartographie et de mesure tridimensionnelles pour les surfaces planes et non planes, comme les bosses et les tranchées. L'unité KLA RS-50e offre une large gamme de fonctions de métrologie, y compris la mesure de la taille critique des caractéristiques, l'enregistrement de superposition, la détection des bords et les lignes fines. Il est également capable de mesurer les statistiques de rendement des appareils, ainsi que de fournir des analyses de dispositifs et de processus. La machine est également capable d'effectuer une analyse de filière défectueuse. L'outil TENCOR RS-50e dispose d'un microscope à longue distance de travail qui le rend apte à mesurer des surfaces non planes tout en fournissant des images à haute résolution. L'actif est équipé d'une technologie exclusive d'éclairage et d'intensification d'image (I3), qui permet d'améliorer le contraste lors de la mesure de caractéristiques plus petites. Le modèle est capable de mesurer les tranchées profondes et les rainures profondes. L'équipement peut scanner des profondeurs jusqu'à 8 microns de profondeur. PROMETRIX RS-50e dispose également d'une gamme complète d'outils automatisés d'inspection des plaquettes, ainsi que d'opérations manuelles telles que des outils de couture et d'étiquetage. Cela permet à l'utilisateur d'effectuer une large gamme de tâches d'analyse de plaquettes. Les outils automatisés d'inspection des plaquettes comprennent la classification des défauts, la reconnaissance des motifs, l'identification des échantillons et la détection des bords. RS-50e possède également des fonctionnalités système avancées pour l'analyse des données, telles que l'analyse statistique en temps réel, la métrologie virtuelle, l'organisation et la visualisation des ensembles de données, la conception de routine d'essai automatisée et l'ordonnancement automatisé des analyses. De plus, l'unité est équipée d'un module accélérateur de rendement (YAP) qui combine l'utilisation d'outils avancés de métrologie et de vérification des plaquettes avec le logiciel Yieldstar pour permettre une caractérisation rapide et précise des appareils. La machine de test et de métrologie KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-50e offre une gamme de fonctionnalités, allant de l'inspection automatisée des plaquettes aux capacités avancées d'analyse des données qui permettent à l'utilisateur de surveiller et d'optimiser les performances des appareils et le contrôle des processus. C'est un outil polyvalent et fiable, capable de fournir des mesures complètes de la taille critique des caractéristiques, de l'enregistrement de superposition et des lignes fines. La gamme complète d'outils et de fonctionnalités avancés permet aux utilisateurs de maximiser le rendement et les performances de l'appareil.
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