Occasion KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-55/TC #293651524 à vendre en France

KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-55/TC est un équipement d'essai et de métrologie des plaquettes de pointe conçu pour fournir des mesures à haute résolution dans un large éventail de matériaux semi-conducteurs. Le système peut être utilisé pour détecter et analyser les défauts sur les surfaces des plaquettes, ainsi que pour mesurer la taille des particules et la contamination. KLA RS-55TC est construit sur un étage transversal à quatre axes, les axes primaires étant à gauche, à droite et au centre. Ceci permet une variété de positions d'échantillons et de positionnement relatif, de sorte qu'un grand nombre de mesures peuvent être effectuées simultanément dans une seule plaquette. Il est également équipé d'un étage de translation XY haute précision à deux étages, capable de positionner avec précision la sonde/échantillon dans un rayon de 10 μ m. L'unité est également équipée de microscopes optiques et vidéo haute résolution, de projecteurs laser et d'une machine de détection hors foyer (OOD). Les microscopes intégrés fournissent une image complète du champ de vision, ainsi que des agrandissements jusqu'à 45x, permettant une acquisition d'image claire et détaillée pour l'analyse des défauts. Le spotter laser peut déterminer la position exacte du défaut sur l'échantillon, tandis que l'outil ODD est capable de valider rapidement la dimension réelle du défaut. L'actif est alimenté par de puissants outils de métrologie conçus spécifiquement pour l'analyse au niveau des plaquettes. Les optiques de balayage à large champ du modèle sont accompagnées d'un logiciel d'acquisition et d'analyse de données à grande vitesse pour permettre une mesure rapide et précise des caractéristiques de surface au niveau des plaquettes, telles que la structure du réseau cristallin, la topographie de surface, les films minces et les défauts. Les paquets d'analyse de données permettent également la génération d'images paramétriques et de profils de rugosité de surface 3D, et fournissent des données précises et à haute résolution d'une grande variété de motifs de surface et de caractéristiques sur les plaquettes semi-conductrices. TENCOR RS55/TC est un équipement très fiable et flexible, offrant à la fois un débit élevé et une grande précision. Il est idéal pour les applications avancées, telles que l'inspection des défauts et le contrôle des processus, ainsi que pour le développement des procédés et la qualification des produits des plaquettes semi-conductrices. Le système est également conforme aux normes de l'industrie telles que SEMI S2-97 (nécessitant deux capteurs optiques indépendants), SEMI S8-99 et SEMI S14-96.