Occasion KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-55/TC #293742667 à vendre en France

KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-55/TC est un équipement d'essai et de métrologie des plaquettes de pointe. Il est conçu pour inspecter et analyser des plaquettes de toutes tailles et matériaux, de 6 "à 300mm. Le système peut identifier les défauts, des micro-dendrites aux défauts intra-couches, avec une grande précision et précision. KLA RS-55TC utilise des techniques standard et avancées d'acquisition d'images telles que la microscopie électronique à balayage (SEM), la microscopie optique (OM) et la microscopie lumineuse réfléchie (RLM) pour effectuer diverses mesures de métrologie et d'imagerie. L'unité dispose d'un alignement et d'un pré-alignement automatisés des plaquettes, ce qui est idéal pour des essais à haut débit et de grandes plaquettes. La machine est équipée d'un algorithme propriétaire de reconnaissance des défauts, ainsi que d'un outil d'analyse de polissage mécanique chimique (CMP). L'algorithme de reconnaissance des défauts est conçu pour détecter et identifier les défauts dans les plaquettes semi-conductrices avec une grande précision et répétabilité. L'actif d'analyse CMP permet un profilage de surface sophistiqué des surfaces de plaquettes permettant une inspection continue du processus chimique dans le temps. Le modèle de test et de métrologie TENCOR RS55/TC comprend un large éventail d'outils d'inspection de métrologie, de logiciels et de capacités de visualisation. L'équipement permet aux utilisateurs d'inspecter rapidement une gamme de types de plaquettes, tels que SOI, SiN, SiON, photorésist et métal. Le logiciel avancé d'inspection visuelle et d'analyse fournit aux utilisateurs des informations sur les défauts, les surfaces ou les propriétés des matériaux avec précision. Le système comprend également diverses capacités de production fiables, telles que la surveillance et le contrôle des procédés, le taux d'échantillonnage à grande vitesse et l'exploration des plaquettes, la classification et l'extraction des défauts, les systèmes de densité des défauts, l'alignement des superpositions et des plaquettes, les capacités d'examen des données statistiques, la cartographie multi-sites et l'analyse des défauts. Avec toutes ces fonctionnalités combinées, TENCOR RS-55/TC est en mesure de fournir des niveaux élevés de précision et de répétabilité pour une variété de tâches de test de plaquettes et de métrologie.