Occasion KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-55 #293607040 à vendre en France

KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-55
ID: 293607040
Taille de la plaquette: 6"
Resistivity mapping system, 6" Resistivity probe: Sensing signal transmission and control system Wafer diameter, 4"-8" Measurement range: 5 m Ohm/sq to 5 M Ohm/sq Absolute accuracy: ±1% (Standard silicon wafer, 23°C) Measurement repeatability: <0.2% Measurement time: ≤ 60 Seconds (49-Point test, manual loading, single wafer, temperature compensation) Controller: Computer SECS Communication interface Inspection table stage: X-Y Direction: >200 mm Z Axis control Servo motor drive Transmission / Transfer: Fully automatic cassette to cassette Robot Alignment.
KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-55 est une plate-forme entièrement automatisée de test, de mesure et de métrologie de plaquettes semi-conductrices, adaptée aux emballages avancés, MEMS et autres structures complexes à haute performance. Construit à partir du sol pour exceller dans une grande variété d'applications de test et de mesure, KLA RS55 offre une précision, une répétabilité et une disponibilité de pointe dans l'industrie. Rapide et précis, TENCOR RS 55 est capable de mesurer un large éventail de caractéristiques, y compris les largeurs de ligne, les tailles de conducteurs, et les vias de silicium à travers (TSV). En outre, la plateforme est en mesure de mesurer une variété de paquets, y compris les paquets à l'échelle des puces (CSP), WLCSP (paquets à l'échelle des puces au niveau des plaquettes), et les puces à retournement, ainsi qu'une variété d'IC et de PCB. TENCOR RS55 offre différentes options d'imagerie, telles que la réflexion, le champ lumineux et le champ sombre, permettant l'imagerie en métrologie 3D. De plus, son interface utilisateur avancée et son logiciel de mesure intuitif simplifient et accélèrent la collecte, l'analyse et la communication de données. Pour une précision accrue, KLA/TENCOR/PROMETRIX RS 55 dispose également d'un système de corrélation numérique intégrée d'image (IDIC) pour l'analyse au niveau de la matrice, ainsi que de systèmes d'imagerie propriétaires Coldfield™ et Brightfield™ pour des performances de faible luminosité inégalées et une meilleure qualité d'image. En outre, TENCOR RS-55 intègre un module de profondeur de champ étendue pour les applications de métrologie statique haute performance. Pour les applications avancées de métrologie, KLA RS 55 comprend un système interférométrique intégré avec alignement automatisé et stabilité. Grâce au puissant système PROFINET/NET et aux API, RS55 peut être connecté à divers appareils externes, et des mesures complexes peuvent être effectuées in situ. Avec ses quatre étages biaxes intégrés, la plate-forme permet le placement automatisé des composants, l'alignement des éléments et la cartographie des plaquettes. RS-55 dispose de six systèmes différents, chacun conçu pour répondre aux normes les plus élevées de qualité et de précision, offrant une large gamme de capacités de résolution et de vitesse. KLA/TENCOR/PROMETRIX RS55 est idéal pour une variété d'étapes de processus, permettant aux clients de maximiser le débit et l'évolutivité tout en minimisant la perte de rendement.
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