Occasion KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-55 #293747952 à vendre en France

KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-55 est un équipement de métrologie de précision conçu pour l'inspection des plaquettes et la métrologie. Le système combine un étage à deux axes, une optique d'imagerie avancée, un logiciel de commande de mouvement et une variété de capteurs et de jauges, offrant une couverture et une caractérisation complètes de la topologie de surface et de la caractérisation des défauts. L'étage est capable de mouvements X-Y jusqu'à 375mm, avec la possibilité d'ajouter une capacité de balayage d'axe Z, permettant de déplacer la plaquette en 3 axes. La scène dispose également d'une option basse vibration. L'imagerie optique est assurée par une combinaison d'imagerie à profilométrie confocale laser (LCP), d'imagerie à reflet de lumière visible (VLR) et d'interférométrie à balayage de lumière blanche (SWLI), permettant l'imagerie en pleine surface et la couverture et la caractérisation complètes des défauts. La plate-forme de contrôle de mouvement est alimentée par un contrôleur de mouvement haute performance, fonctionnant sur la plate-forme Siemens S7 PLC. Ce contrôleur de mouvement est capable de commande en boucle ouverte et fermée, selon l'application spécifique. L'unité dispose d'une commande optique intégrée, assurant un contrôle de haute précision du mouvement de l'étage sur toute la zone de balayage. Le contrôle de mouvement est intégré à une variété de capteurs, dont un capteur tactile capacitif, un balayage laser et une microscopie à rayons X pour l'analyse des défauts. La machine est alimentée par un logiciel d'analyse et de métrologie KLA, qui fournit des capacités d'analyse et de rapport, telles que la caractérisation complète de l'appareil, l'analyse des défauts et l'analyse d'image sur toute la surface de la plaquette. Le logiciel comprend également des méthodes statistiques et des algorithmes complets, permettant une rétroaction en temps réel sur l'optimisation des processus et l'analyse des défauts. KLA RS55 est un outil polyvalent, hautement intégré et fiable de test de plaquettes et de métrologie. Sa combinaison d'optique d'imagerie avancée, de commande de mouvement et de logiciel-contrôle fournit une couverture complète et la caractérisation de la topologie de surface et la caractérisation des défauts, donnant aux utilisateurs la capacité de produire des résultats très précis.