Occasion KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-55 #293820679 à vendre en France

L'équipement KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-55 d'essai et de métrologie des plaquettes est une solution automatisée pour l'essai, l'analyse et l'inspection des plaquettes. Il permet une analyse rapide, précise et répétable des performances physiques et électriques des plaquettes semi-conductrices. Le système combine l'imagerie avancée, l'analyse et le contrôle pour capturer et analyser des tests d'attributs de plaquettes, tels que CD/Dimension critique, Correction OPC/sonde optique, Examen des défauts, Uniformité CD Métrologie haute fréquence, Soundness totale, (contamination visuelle, chip-off et Bump), et FEOL/FEOL. Il prend également en charge l'imagerie et l'analyse à haute résolution des wafers et des dispositifs de silicium, ce qui permet de mieux comprendre les performances des appareils et l'optimisation des procédés de fabrication des wafers. L'unité KLA RS55 est basée sur une plate-forme qui comprend une architecture de machine configurable ouverte avec un outil de manipulation robotisé modulaire, une sonde optique à deux étages, une caméra haute résolution pour l'imagerie et un réseau de contrôle intégré. Il est optimisé pour la durée de vie et la précision de l'outil, avec de nombreuses fonctionnalités pour permettre des fonctionnalités avancées telles que l'optimisation de l'alignement et le balayage mécanique à plusieurs plans. Il est capable d'imagerie et comprend également une suite complète d'outils avancés de métrologie optique. Le modèle d'inspection de TENCOR RS 55 est très adaptable, offrant une couverture de différentes tailles de plaquettes, des géométries de motifs complexes et des emplacements spatiaux à haute résolution. En conséquence, il supporte l'imagerie ultra-faible dose des structures CD, l'uniformité CD, et la topographie 3D. L'équipement prend également en charge des capacités de sensibilité et de détection élevées, avec un dispositif FBRM qui a la capacité de détecter les non-uniformités de CD, ainsi que de caractériser optiquement les structures de CD et l'uniformité de CD/OCD, OPC/OPC/OCD, FEOL/BEOL Méthodes transversales. En outre, le système KLA/TENCOR/PROMETRIX RS55 est conçu pour permettre l'optimisation du débit, avec une interface de cassette de plaquettes automatisée, DGC Data-Based Unification, et un contrôle d'unité convivial basé sur plaquettes. TENCOR RS55 prend en charge l'optimisation du contrôle des processus en surveillant et contrôlant les paramètres de performance critiques et les consignes de température et de pression PID, avec des algorithmes logiciels avancés pour l'optimisation des machines de conduite. En outre, cet outil dispose d'une automatisation sophistiquée, permettant aux opérateurs de laisser l'actif fonctionner pendant la nuit avec une intervention minimale. En conclusion, KLA/TENCOR/PROMETRIX RS 55 est un modèle complet d'essai de plaquettes et de métrologie qui offre une grande précision, répétabilité et fiabilité. Il a été conçu pour fournir une couverture complète des caractéristiques physiques et électriques des plaquettes, offrant un ensemble intégré de fonctionnalités pour l'imagerie, la métrologie et le contrôle des processus. En outre, son automatisation sophistiquée et son support de configuration ouvert en font un choix idéal pour les exigences exigeantes de test, d'analyse et d'inspection des plaquettes semi-conductrices.