Occasion KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-55 #9157661 à vendre en France

KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-55 Wafer Testing and Metrology Equipment est une plate-forme de métrologie entièrement automatisée à haut débit pour la caractérisation des wafers. Il utilise des techniques de scatterométrie optique avancées pour mesurer des paramètres critiques tels que l'épaisseur du film, la rugosité et les constantes optiques avec une grande précision et précision. Le système est idéal pour les procédés à travers le silicium (TSV), les appareils MEMS et les technologies d'intégration 3D. L'unité KLA RS55 utilise la technologie d'imagerie optique la plus sophistiquée et la plus moderne pour une plus grande précision. Il utilise deux scatteromètres optiques, qui utilisent tous deux une méthode d'équation nulle pour la détermination précise des paramètres. La machine extrait des données critiques de plaquettes de différentes tailles et caractéristiques basées sur les principes uniques d'imagerie par scatterométrie. De plus, ses algorithmes d'alignement optique automatisés permettent de caractériser avec précision même les géométries de plaquettes les plus difficiles. TENCOR RS 55 est équipé d'une puissante suite d'analyse de données embarquée, permettant aux utilisateurs d'effectuer plusieurs vérifications de contrôle de processus et d'analyser les données des plaquettes en temps réel. Cet outil dispose également d'une interface utilisateur graphique intuitive (UI) pour mieux comprendre le processus actuel en comparant ses résultats avec des ensembles de données historiques. L'interface graphique peut être utilisée pour créer des profils d'exploitation personnalisés, assurer un meilleur contrôle des processus et générer des rapports. Les principaux avantages de la KLA RS 55 sont sa robustesse aux caractéristiques de surface, sa capacité à mesurer plusieurs paramètres et son débit élevé. L'outil peut mesurer simultanément plus de 10 paramètres, y compris l'épaisseur, les hauteurs de pas, les constantes optiques et les diagnostics. De plus, KLA RS-55 fonctionne en combinaison avec un logiciel spécialisé de contrôle automatisé des processus (APC), qui garantit la fiabilité des performances et la répétabilité pour maximiser les rendements des processus. En conclusion, RS 55 Wafer Testing and Metrology Asset offre une solution fiable et rentable pour la caractérisation des wafers et la surveillance des processus. La technologie avancée d'imagerie optique du modèle et le contrôle automatisé des processus fournissent une analyse précise et répétable, garantissant le plus haut niveau de qualité dans vos processus de wafer.