Occasion KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-55 #9258171 à vendre en France

KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-55 est un équipement d'essai et de métrologie de pointe conçu pour les fabricants de semi-conducteurs. Il utilise l'inspection optique automatisée (IAO) avec des algorithmes avancés pour détecter les défauts dans les surfaces des plaquettes, comme les particules, les fissures, les rayures, les vides et les petits puits, à des résolutions inférieures à 50 nanomètres. Il est intégré au système d'imagerie KLA 5x SEM et offre des capacités de métrologie intégrale des wafers, y compris la topographie, la courbure des wafers, la cartographie de surface, le recouvrement et la mesure de motifs. KLA RS55 est construit avec du matériel et des composants logiciels robustes qui lui permettent de rester fiable dans les environnements de production les plus durs. Son appareil photo et son microscope utilisent des optiques d'imagerie et des algorithmes de traitement d'images de pointe pour collecter des images à haute résolution qui permettent une grande variété d'applications d'inspection des défauts. TENCOR RS 55 est équipé d'un logiciel intelligent qui automatise et participe au processus de la plaquette du début à la fin. Les algorithmes avancés de la plate-forme, tels que la superposition des wafers, fournissent une fusion et une cartographie précises des données des wafers sur plusieurs wafers sur la même zone. Il dispose également d'une interface graphique conviviale qui permet aux opérateurs de mettre en place et de contrôler rapidement les tests et la métrologie des plaquettes. Les capacités de mesure faciles à utiliser et puissantes de PROMETRIX RS-55 permettent une détection rapide et précise des défauts à la meilleure résolution. De plus, ses mesures de 8 et 32 bits permettent la détection de petites particules et d'autres défauts de micro-niveau. Ses fonctions d'analyse permettent une inspection rapide et précise des attributs de bord de ligne et de largeur de ligne pour caractériser les processus de lithographie. La machine comprend l'outil de nettoyage sans contact LinkClean pour le nettoyage des plaquettes entre les inspections, ou pour le nettoyage à distance de la saleté ou des particules fines. KLA RS-55 prend en charge diverses stratégies de nettoyage, y compris des modèles de livraison au laser ou par immersion, pour le nettoyage de la contamination de surface. KLA/TENCOR/PROMETRIX RS55 fournit des tests de plaquettes fiables et une métrologie pour un contrôle des processus à haute performance et une meilleure gestion des rendements. Son imagerie optique de haute précision, ses algorithmes avancés, son interface graphique facile à utiliser et ses options de nettoyage complètes en font le choix idéal pour les fabricants de semi-conducteurs.